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最新产品 > 样品处理设备 > 清洗/消毒设备 > 等离子清洗器>德国普发拓普 PS 400 I...
更新时间：2024-12-20 23:54:43 点击：541次
| 产品型号 | PS 400 IL |
|---|---|
| 参考报价 | 返回顶部 面议 |
| 基本规格 | |
| 产品类型 | 返回顶部 等离子清洗器 |
| 品牌 | 返回顶部 德国普发拓普 |
| 产地 | 返回顶部 |
| 返回顶部 我来纠错（有奖） | |
| 技术参数 | |
| 功率 | 返回顶部 1000w |
| 反应室尺寸 | 返回顶部 400 x 400 x 400 mm |
| 工作频率 | 返回顶部 2.45GHz |
| 反应室材质 | 返回顶部 铝 |
| 仪器重量 | 返回顶部 160kg |
| 仪器尺寸 | 返回顶部 930 x 1,000 x 800 mm |
| 其他信息 | |
| 产品简介 |
在线式微波等离子体系统ps 400是全世界芯片封装领域内最通用的等离子体清洗机。我们独特的微波等离子体工艺应用领域广泛，包括在金线键合、成型和倒装芯片底部填充之前的清洗以及对整个晶圆的清洗（直到12英寸）。具备无电极能量传递和等离子体发生器的400/660在线系统提供了无法超越的适应性。这种无电极能量耦合对于下游工艺中的装于封闭的、无槽盒子内的基片处理是很关键的。 开槽盒子可以在一个旋转平台上得到完美的处理。 另外，ECR模式是这种等离子体系统的额外功能。 作为生产工具，在线微波等离子体系统400和660提供了很高的生产率，并可用于360度全方位的芯片封装中。 这种设备以其高度的用户友好界面，易于操作的平台而引人瞩目。400/660等离子体系统可提供铰链式开门或抽屉式开门。 返回顶部 |
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