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更新时间:2025-04-02 20:37:40 点击:219次

产品型号 PECVD
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 电阻炉/马弗炉
品牌 返回顶部 合肥科晶
产地 返回顶部 中国大陆
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技术参数
温度控制器 返回顶部 30段高精度数字可编程温度控制器
最高温度 返回顶部 1200℃
仪器尺寸 返回顶部 炉体:550*380*520mm
仪器功率 返回顶部 AC 220V 4KW
仪器重量 返回顶部 120KG
其他信息
产品简介

为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)

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应用范围 返回顶部此仪器尚未有相关应用
用户数 返回顶部 此仪器尚未有用户数
技术创新 虽环境温度在100-300℃,但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解,离解和离化,从而大大提高了反应物的活性。 因此,这些具有反应活性的中性物质很容易被吸附到较次温度的基本表面上,发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜。 科晶公司提供定制的薄膜材料的实验室质量可靠、价格合理的紧凑型PECVD系统。
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