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最新产品 > 物理分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜>日立 配有VP功能的新型热场...

更新时间:2024-12-16 08:00:05 点击:388次

产品型号 SU6600
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 扫描电镜
品牌 返回顶部 日本日立
产地 返回顶部 日本
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技术参数
分辨率 返回顶部 二次电子分辨率:1.2nm@30KV 3.0nm@1KV 4.5nm@30KV,150Pa 背散射电子分辨率:3.5nm@30KV
放大倍数 返回顶部 10~600,000(输出尺寸127x96mm)
电子枪类型 返回顶部 热场发射
样品台移动范围 返回顶部 X 0~110mm Y 0~110mm Z 4~40mm T -5°~+70° R 360°
最大样品尺寸 返回顶部 直径150mmx 高40mm
加速电压 返回顶部 0.5~30KV
其他信息
产品简介

 

  @30KV
3.0nm@1KV
4.5nm@30KV,150Pa
背散射电子分辨率 3.5nm@30KV
放大倍率 10~600,000(输出尺寸127x96mm)
电子枪类型 热场发射
探针电流 1pA~200nA
加速电压 0.5~30KV
物镜光阑 自清洁、4孔可动式
束闸 电磁式
样品台 电脑控制的5轴优中心马达样品台
X 0~110mm
Y 0~110mm
Z 4~40mm
T -5°~+70°
R 360°
最大样品尺寸 直径150mmx 高40mm
探头 二次电子探头
背散射电子探头
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产品样本 此仪器尚未有相关样本
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应用范围 返回顶部此仪器尚未有相关应用
用户数 返回顶部 此仪器尚未有用户数
技术创新 1.最大200nA的探针电流,可满足EDX、WDX、EBSP、CL等应用 2.配有VP功能,可自动实现压差光阑的安装和取出 3.配有二次电子探头和背散射探头,可选配ESED 4.大型分析型样品室,可方便的安装多种分析附件 5.可装载150mm直径、40mm高样品 6.电脑控制的5轴优中心马达样品台
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