MIRA 3 LMH/LMU是TESCAN最新推出的高真空场发射扫描电子显微镜系列,以高品质,完全计算机控制,用户友好界面为基础的系列产品.具有很多用户使用方便,产品质量稳定,分析高效为特点的独创设计.
1．高亮度肖特基发射可获得高分辨率，高电流和低噪音图片。独有的三透镜大视野观察（Wide Field Optics™）设计，该设计提供了多种工作模式和显示模式，体现了Tescan特有可优化电子束光阑的中间镜设计。
2．结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™）可模拟和进行束斑优化。
3．成像速度快。
4．高吞吐量/自动取域。例：自动颗粒定点分析。
5．出众的电动载台设计，支持能谱仪（EDX），波谱仪（WDX），背散射电子衍射仪（EBSD）。
6．由于使用了强力的涡沦分子泵和无油干式机械泵，因而可以快速简单得到干净的真空样品室。电子枪由离子泵抽真空。
7．完善的显微镜自动设置包括电子光路设置和对中。
8．成熟的控制软件，图片获取，存档，处理和分析功能。
9．网络操作和内置的远程控制/诊断是Tescan的标准配置。
10.强大的自动功能:全自动真空控制,自动升灯丝,自动电子枪校正 (Auto gun alignment),改变加速电压，自动补偿偏压,改变电子束大小，电子束探测电流自动跟随改变,改变放大倍率，
自动调整电子束大小,依据讯号/噪声比自动调整扫描速度,自动对比/亮度调整,自动聚焦,自动调整像差,Look Up Table自动调整等。
11.完全自动的软件安装.
12.强大的图象处理功能,使用专业的电镜控制软件,图像抓取,加工,处理和分析;
I.影像显示尺寸
1)实时影像显示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024等3种方式。
2)储存影像显示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024, 1280x1280, 1536x1536, 2048x2048, 2560x2560, 4096x4096，8192x8192等9种方式。
3)同时可选择正方形、4x3长方形、2x1长方形等3种尺寸。
4)可同时显示任意张实时影像或储存影像。
II.扫描速度：从20ns/图素到10ms/图素，可阶级式或连续式的调整。
III.聚焦窗口：可连续式调整聚焦窗口的大小和位置。
IV.动态聚焦,点&线扫描
V. 影像处理(Image processing)：提供15种影像处理功能。
直方图(Histogram)﹐锐化(Sharpening)﹐等效化(Adaptive Equalisation)﹐
对比微分化(Differential Contrast)﹐中值滤波(Median Filter)﹐去噪声
化(Noise Reduction)﹐自动对比调整(Auto Contrast)﹐阴影补正(Shading
 Correction)﹐结构化(Structure)﹐反相化(Invert)﹐灰阶化(Convert to 
8 bits grayscale)﹐真实色彩化(Convert to 24 bits true color)﹐影像
旋转90度(Rotation 90 degree)﹐影像翻转(Flip)﹐傅立叶转换(Fourier 
Transformation)。
VI.量测功能：提供13种影像量测的功能
1).可分析彩色影像的RGB值。
2).可量测线的长度。
3).可量测任意两点的距离。
4).可量测不规则形状的长度。
5).可量测任意夹角。
6).可量测不规则形状的面积和周长。
7).可量测圆形的直径和周长。
8).可量测任意三点所行成的圆形的直径和周长。
9).可量测椭圆形的长、短轴长度和周长。
10).可量测正方形面积。
11).可量测长方形长和宽。
12).可量测四边形长、宽和周长。
13).可精确量测任意两点的距离(任何放大倍率下﹐误差小于3%)。
14).可划指示箭头。
15).可写说明文字。
16).可在影像上标示Micro Bar。
17).字型、字体大小、颜色可任意设定。
18).可列表作统计处理,并可以储存。
19).实时或储存的影像均可处理。
VII.影像存盘：
1).浏览已储存影像的相本。
2).找寻已储存影像的数据库系统。
3).报告产生及从程序中直接打印。
4).实时或储存的影像均可处理。
13.卓越的分析品质;
1)选择目标区域：以灰阶及彩色为起始点-针对选择的区域着色及量测。
2)3D扫描：可通过各探头的配合，显示真实的三维图象。
3)硬度分析：以Vickers式硬度或Brinell式硬度标准来测量分析样品。
4)多图片校正：可以校正其它电镜拍摄的照片的放大倍数。
5)打印放大倍数：调整显示屏以及打印输出时放大倍数差异。
6)关机时间设定：可以设定第一次自动关机时间。
7)公差
可选配软件
8)形态学：该软件可对样品图片进行自动分析，测量和分类。其图片来源可以是显微镜，数码相机等。
9)颗粒度分析：可以对多区域内的样品进行自动测量，分析和分类(不过分析样品必须在扫描窗口内)。该软件结合形态学软件使用，功能更加完善。
10)自动连续截图
11)样品观测
12)鼠标连接：安装该软件后，可以用电子显微镜的鼠标控制其他连接设备的鼠标进行操作。

技术参数：

1. 分辨率:高真空(二次电子):1.0nm at 30kV,1.2nm at 15kV,2.0nm at 3kV,3.5nm at 1kV
                             (背散射电子): 2.0 nm at 30 kV(LMH型选配，LMU型标配)
                 低真空(低真空二次电子)﹕1.5 nm at 30 kV ,3.0 nm at 3 kV (LMU型选配)
2.放大倍数:4 to 1000000x
3.真空系统:样品室/高真空<9*10 -3Pa，
                    样品室/低真空7-150Pa(LMU型标配)
                   枪体真空<3*10 -7Pa
4.加速电压0.2kV to 30kV
5.电子束电流2pA—100nA
6.样品室内部直径：230mm
7.样品台行程: (5轴马达控制)
X=80mm——马达控制
Y=60mm——马达控制
Z=47mm——马达控制
R=360°连续马达控制
T=-80°到+80°马达
最大样品高度81mm.

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