MIRA 3 XMU/XMH是TESCAN最新推出的场发射扫描电子显微镜系列,以高品质,完全计算机控制,用户友好界面为基础的系列产品.具有很多用户使用方便,产品质量稳定,分析高效为特点的独创设计. 
1．高亮度肖特基发射可获得高分辨率，高电流和低噪音图片。独有的三透镜大视野观察（Wide Field Optics™）设计，该设计提供了多种工作模式和显示模式，体现了Tescan特有可优化电子束光阑的中间镜设计。 
2．结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™）可模拟和进行束斑优化。 
3．成像速度快。 
4．高吞吐量/自动取域。例：自动颗粒定点分析。 
5．出众的电动载台设计，支持能谱仪（EDX），波谱仪（WDX），背散射电子衍射仪（EBSD）。 
6．由于使用了强力的涡沦分子泵和无油干式机械泵，因而可以快速简单得到干净的真空样品室。电子枪由离子泵抽真空。 
7．完善的显微镜自动设置包括电子光路设置和对中。 
8．成熟的控制软件，图片获取，存档，处理和分析功能。 
9．网络操作和内置的远程控制/诊断是Tescan的标准配置。 
10.15种强大的自动功能。 
11.完全自动的软件安装. 
12.强大的图象处理功能,使用专业的电镜控制软件,图像抓取,加工,处理和分析; 
I.显示尺寸：4种实时影像显示尺，最大可至1024x1024；9种图像存储尺寸，最大可至8192x8192。同时可选择正方形、4x3长方形、2x1长方形3种尺寸，也可同时显示任意张实时影像或储存图像。 
II.扫描速度：从20ns/图素到10ms/图素，可阶级式或连续式的调整。 
III.聚焦窗口：可连续式调整聚焦窗口的大小和位置。 
IV.动态聚焦,点&线扫描 
V. 图像处理(Image processing)：提供15种图像处理功能。 
VI.量测功能：提供13种量测的功能 
VII.图像存盘： 
1).浏览已储存影像的相本。 
2).找寻已储存影像的数据库系统。 
3).报告产生及从程序中直接打印。 
4).实时或储存的影像均可处理。 
13.卓越的分析品质; 
1)选择目标区域：以灰阶及彩色为起始点-针对选择的区域着色及量测。 
2)3D扫描：可通过各探头的配合，显示真实的三维图象。 
3)硬度分析：以Vickers式硬度或Brinell式硬度标准来测量分析样品。 
4)多图片校正：可以校正其它电镜拍摄的照片的放大倍数。 
5)打印放大倍数：调整显示屏以及打印输出时放大倍数差异。 
6)关机时间设定：可以设定第一次自动关机时间。 
7)公差 
可选配软件 
8)形态学：该软件可对样品图片进行自动分析，测量和分类。其图片来源可以是显微镜，数码相机等。 
9)颗粒度分析：可以对多区域内的样品进行自动测量，分析和分类（不过分析样品必须在扫描窗口内）。该软件结合形态学软件使用，功能更加完善。 
10)自动连续截图 
11)样品观测 
12)鼠标连接：安装该软件后，可以用电子显微镜的鼠标控制其他连接设备的鼠标进行操作。

技术参数：

1. 分辨率:高真空(二次电子)1.0nm at 30kV,1.2nm at 15kV,2.0nm at 3kV,3.5nm at 1kV
                              (背散射电子): 2.0 nm at 30 kV(XMH型选配，XMU型标配)
                 低真空(低真空二次电子)﹕1.5 nm at 30 kV ,3.0 nm at 3 kV (XMU型选配)
2.放大倍数:4 to 1000000x
3.真空系统:电子枪真空                    离子枪真空                    样品室/低真空7-150Pa(U型标配)
4.加速电压0.2kV to 30Kv
5.电子束电流2pA—100nA

6.内部直径: 300mm(宽) x 300mm(深)
样品室门：280mm(宽) x 310mm(高)
接口数: 11+
7.样品台行程:（5轴马达控制）
X=130mm——马达控制
Y=130mm——马达控制
Z=100mm——马达控制
R=360°连续马达控制
T=-30° 至+90°马达
最大样品高度143mm.

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