仪器简介：

LYRA 3 XMU/XMH是TESCAN最新推出的一款聚焦离子束扫描电镜,以高品质,完全计算机控制,用户友好界面为基础的系列产品.具有使用方便,产品质量稳定,分析高效为特点的独创设计。该型号样品台行程大，可承受最大样品重量甚至可达10Kg，是现有样品台可载重最大的扫描电子显微镜。使用于航空航天，汽车配件，发动机等事业单位和研究单位，其超大的样品室和载重可为您带来无可比拟的便捷，使得对一些不方便进行切割等处理的样品的观察成为可能。

LYRA 3 XMU/XMH是TESCAN最新系列扫描电子显微镜中配置最高的型号。
1.独有的四透镜大视野光学（Wide Field Optics™）和Tescan特有可优化电子束光阑的中间镜设计，提供了多种工作模式和显示模式。
2.选配了气体注入系统。
3.镜筒内没有需要机械对中结构，取而代之的是容易操作和保养的固定光阑。
4.以电磁的方式改变有效物镜光阑——中间镜起到“光阑转换器”的作用。
5.高吞吐量/自动取域。例：自动颗粒定点分析。
6.出众的电动载台设计，支持能谱仪（EDX），波谱仪（WDX），背散射电子衍射仪（EBSD）。
7.由于使用了强力的涡沦分子泵和机械真空泵，因而可以快速简单得到干净的真空样品室。
8.完善的显微镜自动设置包括电子光路设置和对中。
9.网络操作和内置的远程监控/诊断是Tescan的标准配备。
10.强大的自动功能:全自动真空控制,灯丝自动加热,自动电子枪校正 (Auto gun alignment),改变加速电压，自动补偿偏压,改变电子束大小，
自动调整电子束大小,依据讯号/噪声比自动调整扫描速度,自动对比/亮度调整,自动聚焦,自动调整像差等。
11.完全自动的软件安装.
12.强大的图象处理功能,使用专业的电镜控制软件,图像抓取,加工,处理和分析;
I.影像显示尺寸
1)实时图像显示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024等3种方式。
2)储存图像显示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024, 1280x1280, 1536x1536, 2048x2048, 2560x2560, 4096x4096,8192x8192等9种方式。
3)同时可选择正方形、4x3长方形、2x1长方形等3种尺寸。
4)可同时显示任意张实时影像或储存影像。
II.扫描速度：从160ns/图素到10ms/图素，可阶级式或连续式的调整。
III.聚焦窗口：可连续式调整聚焦窗口的大小和位置。
IV.动态聚焦,点&线扫描
V. 图像处理(Image processing)：提供锐化(Sharpening)﹐自动对比调整(Auto Contrast)﹐去噪声
化(Noise Reduction)等15种图像处理功能。
VI.量测功能：提供量测任意两点的距离，量测任意夹角，不规则形状的面积和周长，划指示箭头，写说明文字等13种图像量测的功能
VII.图像存盘：
1).浏览已储存图像的相本。
2).找寻已储存图像的数据库系统。
3).报告产生及从程序中直接打印。
4).实时或储存的图像均可处理。
13.卓越的分析品质;
1)选择目标区域：以灰阶及彩色为起始点-针对选择的区域着色及量测。
2)3D扫描：可通过各探头的配合，显示真实的三维图象。
3)硬度分析：以Vickers式硬度或Brinell式硬度标准来测量分析样品。
4)多图片校正：可以校正其它电镜拍摄的照片的放大倍数。
5)打印放大倍数：调整显示屏以及打印输出时放大倍数差异。
6)关机时间设定：可以设定第一次自动关机时间。
7)公差
可选配软件
8)形态学：该软件可对样品图片进行自动分析，测量和分类。其图片来源可以是显微镜，数码相机等。
9)颗粒度分析：可以对多区域内的样品进行自动测量，分析和分类（不过分析样品必须在扫描窗口内）。该软件结合形态学软件使用，功能更加完善。
10)自动连续截图
11)样品观测
12)鼠标连接：安装该软件后，可以用电镜的鼠标控制其他连接的设备的鼠标进行操作。

技术参数：

场发射(FE-SEM)部分：
1.分辨率:
高真空(SE):1.2nm at 30kV,2.0nm at 3kV ,3.5nm at 1kV
低真空模式(LVSTD,BSE):2.0nm at 30kV
2.放大倍数:3 to 1000000x
3.真空系统:高真空：样品室 枪体真空 低真空：7 to 150Pa,高、低真空可随时方便切换.
4.加速电压0.2kV to 30Kv
5.电子束电流1pA—2μA
离子束(FIB)部分：
6.分辨率： 7.放大倍数:150 to 1000000x
8.真空系统:枪体真空 9.加速电压0.5kV to 30kV
10.电子束电流2pA—40nA
11.样品室内部直径：300mm(宽)*330(深)
样品室门：280mm(宽) x 310mm(高)
12.样品台行程:
X=130mm——马达驱动(–50 mm to +80 mm)
Y=130mm——马达驱动(–65 mm to +65 mm)
Z=100mm——马达驱动
旋转﹕360度连续——马达驱动
倾斜﹕-30度—90度——马达驱动
最大样品高度：139mm
13.样品台最大承重可达10KG

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