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更新时间：2025-01-18 04:19:08 点击：498次

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技术参数

产品型号

CrossBeam®

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基本规格

产品类型

返回顶部扫描电镜

品牌

返回顶部蔡司光学

产地

返回顶部德国

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技术参数

放大倍数

返回顶部电子光学：NEON®: 12 – 900kx NVision40: 30x-900kx；FIB：NEON®: 600x–500kx NVision40: 475x-500kx

分辨率

返回顶部电子光学：1.1nm @ 20 kV 2.5nm @ 1 kV ；FIB：NEON®: 7nm @ 30 kV NVision40: 4nm @ 30 kV

加速电压

返回顶部电子光学：0.1 - 30 kV ；FIB：NEON®: 2 - 30 kV NVision40: 5-30kV 1-5kV(opt.)

其他信息

产品简介

仪器简介：

卡尔.蔡司CrossBeam®系列产品包含了一整套独具特色的仪器。它从独特的NEON®平台出发，客户可根据日常的分析工作、样品制备以及高性能成像的具体应用来定制系统，直到NVision 40工作站，它可满足最苛刻的成像要求，并提供与众不同的离子束性能。
CrossBeam®这一独特的产品系列，将场发射专利技术GEMINI®的出众的成像能力与高性能的聚焦离子束镜筒结合在一起，形成了一种崭新的功能强大的系统。一流的优中心（eucentric）样品台，结合功能完善、体积小巧的多通道气体注入系统，让CrossBeam®系列产品成为最佳的分析与检验工具。在FIB操作过程的整个放大倍数范围内特有的实时成像能力保证了在处理关键样品时可实现全面的控制。凭借一系列选配功能，每一台CrossBeam®工作站都可满足最苛刻的应用需求。

技术参数：

CrossBeam®基本规格
	电子光学	FIB
分辨率	1.1nm @ 20 kV 2.5nm @ 1 kV	NEON®: 7nm @ 30 kV NVision40: 4nm @ 30 kV
加速电压	0.1 - 30 kV	NEON®: 2 - 30 kV NVision40: 5-30kV 1-5kV(opt.)
束流	NEON®: 4pA - 10nA NVision40:4pA - 20nA	NEON®: 1pA - 50nA NVision40: 0.1pA - 45nA
放大倍数	NEON®: 12 – 900kx NVision40: 30x-900kx	NEON®: 600x–500kx NVision40: 475x-500kx
发射器	热场发射	Ga液态金属离子源（Ga LMIS）
标准探测器	内置式(In-lens)二次电子探测器与样品室内ET探测器
图象处理	7种积分和平均模式
系统控制	基于Windows® XP的SmartSEM™

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应用范围

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用户数

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技术创新

 CrossBeam®工作模式：蚀刻、抛光过程中的高分辨率实时成像  采用GEMINI®镜筒实现超高分辨率成像  超高精度的聚集离子束（FIB）  自动化的透射电子显微镜（TEM）样品制备软件包  采用镜筒内置式EsB探测器，获得更好的组分像

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