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最新产品 > 物理分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜>日本电子 聚焦离子束(FIB)(F...

更新时间:2024-12-18 18:09:42 点击:634次

产品型号 JIB-4500
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 扫描电镜
品牌 返回顶部 日本电子
产地 返回顶部 日本
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技术参数
分辨率 返回顶部 FIB 分辨率: 5nm, 30kV SEM分辨率: 2.5nm, 30kV (LaB6)
样品台移动范围 返回顶部 X/Y 76 mm, Z 5 to 48 mm T -10 to 90度 R 360 度
其他信息
产品简介
仪器简介:

JIB-4500是集成扫描电镜和聚焦离子束于一身高性能仪器。它采用六硼化镧灯丝,可以对进行实时研磨监控。该仪器又是一个微区观察、样品分析、微区研磨的集合体,应用范围广泛。



技术参数:

FIB 分辨率: 5nm, 30kV
SEM分辨率: 2.5nm, 30kV (LaB6)
样品台: X/Y 76 mm, Z 5 to 48 mm
T -10 to 90度
R 360 度
标准: LV 模式, BEI,
气体输入系统 x1



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技术创新 主要特点: 1.监控、切割、组装和三维图像重构连续操作 2大束流,最大30nA 3.提供空前稳定的图像 4.低真空功能适用于非导体样品 5.气体注入系统用于刻蚀和沉积 6.最大装样 150 mm 7.气锁式样品交换 8.五轴全对中样品台 9.多个样品分析接口
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