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更新时间:2024-09-14 15:50:13 点击:520次

产品型号 SU1510型
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 扫描电镜
品牌 返回顶部 日本日立
产地 返回顶部
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技术参数
放大倍数 返回顶部 5~300,000倍
分辨率 返回顶部 二次电子分辨率 3.0nm(高真空,30kV) 背散射电子分辨率 4.0nm(低真空:6Pa,30kV)
最大样品尺寸 返回顶部 直径:153 mm
加速电压 返回顶部 0.3~30 kV
样品台移动范围 返回顶部 X 0~80 mm Y 0~40 mm Z 5~50 mm T -20°~ 90° R 360°
其他信息
产品简介

日立扫描电子显微镜SU1510型的主机宽度仅为55cm体型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可变压力扫描电镜。

一、日立扫描电子显微镜SU1510型的特点
1. 仪器主体比过去减小20%,可以更加自由地选择安装场地。
2. 标配低真空功能,可以对不导电进行无喷涂观察。高低真空转换一键完成。
3. 可载入最大直径153mm,高度为60mm(WD=15mm)的样品,并进行元素分析。
4. 强大的鼠标控制功能,可实现电镜的所有操作。
5. 分子泵真空系统,洁净无污染。

二、日立扫描电子显微镜SU1510型的技术规格:

 项目

 内容

 二次电子分辨率

 3.0nm(高真空,30kV)

 背散射电子分辨率

 4.0nm(低真空:6Pa,30kV)

 倍率

 5~300,000倍

 加速電圧

 0.3~30 kV

 样品台

 X            0~80 mm
 Y            0~40 mm
 Z            5~50 mm
 T            -20°~ 90°
 R            360°

 样品台控制

 手动(可选:2轴马达)

 最大载入样品尺寸

 直径:153 mm

 最大观察范围

 直径:126 mm(XYR并用)

 最大样品高度

 60 mm(WD=15 mm)

 低真空范围

 6-270Pa(从菜单设定)

 灯丝

 预对中钨灯丝

 物镜光阑

 4孔可变光阑

 枪偏压

 固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压

 检测器

 二次电子检测器,高灵敏度半导体背散射电子检测器

 EDX分析位置

 WD=15,TOA=35°

 真空系统

 分子泵1台,机械泵1台

 安全措施

 停电,漏电,自动保护

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