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最新产品 > 物理分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜>日立 热场发射扫描电镜 SU70型
更新时间：2024-09-21 10:40:12 点击：474次
| 产品型号 | SU70型 |
|---|---|
| 参考报价 | 返回顶部 面议 |
| 基本规格 | |
| 产品类型 | 返回顶部 扫描电镜 |
| 品牌 | 返回顶部 日本日立 |
| 产地 | 返回顶部 |
| 返回顶部 我来纠错（有奖） | |
| 技术参数 | |
| 分辨率 | 返回顶部 二次电子图象分辨率 1.0nm(15KV.WD=4.0mm) 1.6nm(1KV.WD=1.5mm,减速模式) 2.5nm(1KV.WD=1.5mm) |
| 放大倍数 | 返回顶部 低放大倍数模式20-2,000x 高放大倍数模式100-800,000x |
| 样品台移动范围 | 返回顶部 X 0-110mm Y 0-110mm z 1.5-40mm T -5O-+700 R 360O |
| 最大样品尺寸 | 返回顶部 直径150mm(标准) (最大) 直径200mm(可选) |
| 加速电压 | 返回顶部 0.5-30KV(标准模式) 着陆电压 0.1-2.0KV(减速模式) |
| 其他信息 | |
| 产品简介 |
日立热场发射扫描电镜SU70型采用成熟的超高分辨率半内透镜技术和热场发射电子枪，为探索纳米世界打开了一扇新的大门。为了满足在同一台仪器上进行综合分析(需要大探针电流)和超高分辨率观察的需求，日立开发了SU-70。 一、日立热场发射扫描电镜SU70型的特点： 1.100nA的大探针电流 新开发的肖特基电子枪保证100nA的大探针电流 2. 通用的分析型样品室 预留了多种接口，可以安装以下附件进行 分析：EDX,WDX,EBSP,STEM,BSE, CL,超低 温台，样品室CCD 3. 分析模式(FF模式) 观察磁性样品及EBSP、WDS分析 4. 超高分辨率 1.0nm/15kV，1.6nm/1kV(减速模式)，超高分辨率的获得利用了日立 已被检验的半内透镜技术。 5. 超级ExB技术用于控制SE/BSE信号检测，实现消除放电现象及信号混合 6. 电子束减速技术保证了超低电压的高分辨成像，用于浅表面观察 二、日立热场发射扫描电镜SU70型的技术规格： 二次电子图象分辨率 1.0nm(15KV.WD=4.0mm) 1.6nm(1KV.WD=1.5mm,减速模式) 2.5nm(1KV.WD=1.5mm)
放大倍数 低放大倍数模式20-2,000x 高放大倍数模式100-800,000x
电子光学 电子枪 ZrO/W 肖特基电子枪 电流 1pA-100nA 加速电压 0.5-30KV(标准模式) 着陆电压 0.1-2.0KV(减速模式) 透镜系统 3级电磁线圈系统 物镜光阑 4孔光阑,真空外选择和细调
样品台 样品台控制 5轴马达控制 移动范围 X 0-110mm Y 0-110mm z 1.5-40mm T -5O-+700 R 360O 样品尺寸 直径150mm(标准) (最大) 直径200mm(可选)
探测器 二次电子探测器 背散射电子探测器(可选) STEM探测器(可选) 法拉第杯(可选) X射线能谱仪(可选) X射线波谱仪(可选) EBSP探测器(可选) 阴极荧光探测器(可选) 返回顶部 |
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