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最新产品 > 物理分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜>FEI 超高分辨率场发射...

更新时间:2024-12-16 15:12:20 点击:549次

产品型号 Nova NanoSEM 50
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 扫描电镜
品牌 返回顶部 FEI
产地 返回顶部 韩国
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技术参数
分辨率 返回顶部 高真空: 30 kV (STEM):0.8nm, 15 kV (TLD) :1.0nm,1 kV (TLD、无 BD) :1.4nm,100 V (DBS) 3.5nm,15 kV, 5 nA :3.0 nm 。 低真空 3 kV 和 30 Pa (Helix):1.8nm, 10 kV:1.5 nm
样品台移动范围 返回顶部 110 x 110 x 25 150 x 150 x 10
真空度 返回顶部 30 Pa
其他信息
产品简介

 

仪器简介:

 

Nova 系列扫描电子显微镜 (SEM) 具有低真空功能,是满足研究实验室、半导体和数据存储实验室和制造工厂、生物和生命科学实验室及其他行业各种成像、分析和样品制备需求的理想之选。 Nova 系统包含 EBIC、冷冻样品台、STEM、EDS、WDS 和 EBSD。


技术参数:
 

 

分辨率 高真空 30 kV (STEM)
15 kV (TLD)
1 kV (TLD、无 BD)
100 V (DBS)
15 kV, 5 nA
0.8 nm
1.0 nm
1.4 nm
3.5 nm
3.0 nm
分辨率 低真空  3 kV 和 30 Pa (Helix)
10 kV
1.8 nm
1.5 nm
射束电流    高达 200 nA
着陆电压范围   50 V - 30 kV
样品台 X x Y x Z (mm) 110 x 110 x 25
150 x 150 x 10
机室   大试件室
探测 透镜内
透镜下、大角度探测器
TLD SE 和 BSE
高灵敏度 DBS (SE/BSE)


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应用范围 返回顶部此仪器尚未有相关应用
用户数 返回顶部 此仪器尚未有用户数
技术创新 主要特点: • 场发射 SEM、超稳定高电流 Schottky 电子枪 • 先进的光学和探测技术,包括沉浸模式、射束减速、透镜内 TLD-SE 和 TLD–BSE、DBS 和 STEM,可实现最佳信息选择和图像优化 • 低至 50 V 的射束着陆能量 • 1.4 nm @ 1 kV、无射束减速 • 全球唯一真正高分辨率的低真空 FESEM: 1.8 nm @ 3 kV 和 30 Pa • 高达 200 nA 的高真空或低真空分析 • 整合式 16 位扫描/制图引擎 • 超洁净、无油滚动和涡轮抽气真空系统 • 150 x 150 mm 高精密、高稳定压电样品台 (Nova NanoSEM 650)
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