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最新产品 > 物理分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜>泰思肯 可移动式超大型...

更新时间:2024-12-19 15:43:51 点击:719次

产品型号 InduSEM
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 扫描电镜
品牌 返回顶部 泰思肯
产地 返回顶部
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技术参数
分辨率 返回顶部 高真空(二次电子):3.0nm(30kV), 8nm(3kV); 低真空(背散射电子):3.5nm(30kV)
放大倍数 返回顶部 1.5x-1,000,000x
样品台移动范围 返回顶部 X=130mm——马达驱动 Y=130mm——马达驱动 Z=100mm——马达驱动 旋转:360°连续可调——马达驱动 倾斜:-30°到+90°——马达驱动
真空度 返回顶部 3-500Pa
最大样品尺寸 返回顶部 样品高度 最大145mm
加速电压 返回顶部 200V至30KV
其他信息
产品简介
分辨率
高真空(二次电子)
低真空(背散射电子)

3.0nm(30kV), 8nm(3kV)
3.5nm(30kV)
工作真空
低真空模式

3-500Pa
电子光学工作模式 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
放大倍率 1.5x-1,000,000x
加速电压 200V至30KV
电子枪 钨灯丝
探针电流 1pA至2μA
扫描速度 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整
聚焦窗口 形状、尺寸和位置连续可调
扫描特性 动态聚焦,聚焦窗口,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像
图象尺寸
最大可达8192×8192象素,图像比例可选1:1、4:3或2:1
显微镜控制 通过触摸屏操作VEGA TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现
自动程序 实时电子束追踪优化,束斑直径优化放大倍数,聚焦&消象散,对比度&亮度,扫描速度(根据信噪比),灯丝饱和调整,电子枪对中,光阑&透镜对中,真空控制,加速电压的补偿,灰度级调整。
远程控制 通过TCP/IP
 样品室
内部尺寸 300mm宽×330mm深
门宽 280mm宽×310mm深
接口数量 12+
样品室减振方式 内置主动式电磁减振
 + 可根据客户需求调整接口数量和位置。
 样品载台
类型
全电脑化优中心


移动范围
X=130mm——马达驱动
Y=130mm——马达驱动
Z=100mm——马达驱动
旋转:360°连续可调——马达驱动
倾斜:-30°到+90°——马达驱动
样品高度 最大145mm
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