仪器简介：

Millbrook公司的MiniSIMS在一个紧凑的台式仪器中开发了SIMS技术。仅需一个标准的主电源，它可以放置在任何最需要放置的位置。 完全的计算机控制使得MiniSIMS操作简便并且可以自动采集数据。因特网的远距离控制意味着可移动的SIMS是目前的理想选择。

MiniSIMS使得很多情况下室内表面分析仪器成为一种经济适用的解决方案。这种分析方法比求助于SIMS分析实验室的合同测试更快，更方便。低成本和维护费用，以及高样品量，保证了单位样品的总成本比使用传统的SIMS仪器减少了90%。

MiniSIMS系列的入门级仪器是MiniSIMS alpha。这种热销的仪器，非常适合测定样品的特定性质。按照已知标准进行质量监控，或者研究以及工艺优化中的多样品比较分析方面，该仪器非常高效。这 种情形下，预置的分析条件意味着很多不同的操作者能够获得重复性的数据。通常每个样品的分析时间短至5分钟。

飞行时间质谱仪的引入使得MiniSIMS的性能跃升到一个新的水平。对未知样品的测定像测量已知组成那样简单，该功能使得MiniSIMS ToF尤其适合研究性应用。在失效分析中，比如污染鉴定，附加的细节能够准确地查明问题的确切原因。

仪器参数：

型号：     MiniSIMS alpha    
样品尺寸：12.5mm或100mm    
真空度：高真空 10-8Pa， 10-6mbar   
质谱：     四级杆
离子束：6kVGa
绝缘样品分析：辅助电子束    
质量数范围：300daltons    
质量下限：3
质量分辨率：dm=1（指质谱图中，谱峰相邻的两种物质的质量数差值dm的最小值为1，如果质量数差值小于1，则无法分辨。
灵敏度Mo/MoO: >5E3cps/nA。
横向分辨率：导体10µm 绝缘体50µm 
纵向深度： 500nm深度 >1E3动态范围
深度分辨率：对于表层薄膜掺杂物探测极限：ppm    
分析模式：静态、动态、成像SIMS
样品装载时间：标准样品 < 3 minutes 大样品< 15 minutes    
视场：4.5 mm x 4.5 mm
一次测量离子种类：每次只收集质量数为某一数值的离子
成像时间：30秒    
一次装载样品数量：标准1，选件31    

型号：MiniSIMS TOF
样品尺寸：12.5mm或100mm
真空度：高真空 10-8Pa，10-6mbar
质谱：飞行时间
离子束：6kVGa
绝缘样品分析：辅助电子束
质量数范围：>1200daltons
质量下限：1（氢）
质量分辨率：m/dm=650（指质谱图中，谱峰相邻的两种物质的平均质量数m与两质量数差值dm之间的比值。该值是从测量到的Al元素与乙烯基C2H3基团的质谱中得到的值，两者的质量数整数部分都是27，小数部分不同。）
灵敏度Mo/MoO:>5E3cps/nA
横向分辨率：导体10µm 绝缘体50µm
纵向深度：500nm深度 >1E3动态范围
深度分辨率：对于表层薄膜<1nm，对于埋置层10-20nm
掺杂物探测极限：ppm
分析模式：静态、动态、成像SIMS
样品装载时间：标准样品 < 3 minutes 大样品< 15 minutes
视场：4.5 mm x 4.5 mm
一次测量离子种类：同时收集所有二次离子
成像时间：30秒
一次装载样品数量：标准1，选件31

应用范围及优势：
单层表面信息
全元素检测
有机物质鉴定
高灵敏度分析
快速成分影像
薄膜纵切片
台式设计、移动便捷
经济实用、操作简单

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