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最新产品 > 计量仪器 > 长度计量仪器 > 工具显微镜>非接触式深度测量工具显微镜 Pho...

更新时间:2024-12-15 20:12:26 点击:429次

产品型号 Photon系列
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 工具显微镜
品牌 返回顶部
产地 返回顶部 中国大陆
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技术参数
载物台行程 返回顶部 由100*75mm到大行程400*200mm
其他信息
产品简介

仪器简介
Photon系列PUM工具显微镜为一专业X、Y、Z轴座标测量显微镜,被广泛地运用在高精度测量的工业领域,如半导体行业、MEMS、磁头元件、电子元件、精密部件等。其X、Y、Z工作台行程由100*75mm到大行程400*200mm,X、Y轴的精度为3.5+L/50um,Z轴精度为5um,显示精度为1um。
①采用95mm低景深长工作距离镜头,可以充分保证Z轴精度和舒适的测量空间。物镜倍率有5X、10X、20X、50X具体参数如下:

物镜倍率:5X
NA:0.13
工作距离(WD):34mm
fd:40
视野值:φ4.8

物镜倍率:10X
NA:0.29
工作距离(WD):31mm
fd:20
视野值:φ2.4

物镜倍率:20X
NA:0.42
工作距离(WD):20.3mm
fd:10
视野值:φ1.2

物镜倍率:50X
NA:0.55
工作距离(WD):13mm
fd:4
视野值:φ0.4

②为保证测量精度PUM万能工具显微镜采用进口载物台,搭载美国高精度ACU-Rice光学尺,保证了优秀的解析度。平台规格有100x75、200x100、300x100、400x200可选。
③PUM的QC200数据计数器的最小读数可以从0.001mm到0.0001mm按需要选择,以满足不同精度的测量要求。QC200还配有打印机接口可以与打印机相连实现数据实时打印输出。
④PUM工具显微镜采用高档的精微动调焦系统,策调精度为1um/格。从而充分保证了Z轴测量的精度。
⑤根据需要PUM万能工具显微镜还可以搭配AIM测量软件扩展测量功能,可以对点、线、圆、孤等基本参数进行便捷测量。

适用领域
PUM万能工具显微镜在半导体封装测试行业,我们一般需要测试的参数有引线框架的高度、深度、圆半径、毛刺、邦定线的线高、线宽、Wafer上台阶高度等技术指标。PUM万能工具显微镜的最大亮点是Z轴测量精度。它的精度是5um重复精度可达3um。特别适用于引线框架技术参数的量测
数字成像和影像处理测量技术
非接触Z轴高度测量
与数据处理系统的协同工作
低倍率到高倍率轻松搞定
多种照明的选择总有一款能够辨清最细微的差别

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