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更新时间:2024-12-15 17:54:34 点击:359次

产品型号 AllCeramic CDG025-C
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 真空计
品牌 返回顶部 德国INFICON
产地 返回顶部 德国
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技术参数
其他信息
产品简介

SKY AllCeramic CDG 所有暴露于真空的表面由超纯氧化铝陶瓷构成,取代了传统 CDG 的不锈钢管件。 对于必须避免金属污染的应用,此产品是首选工具。

优势

    无金属污染
    极小的零位偏移
    真正耐腐蚀 - 传感器使用寿命长,从而可减少停机时间,进而降低拥有成本
    在长时间运行过程中具有优越的精度和可重复性
    更好的长期稳定性和温度稳定性
    消除隔离阀(取决于操作模式)
    不易受防护罩产生的粒子和过程副产品的影响
    最短的预热时间
    更低的投资成本
    凭借接口兼容性方便地替换现有 CDG


应用

    蚀刻、CVD 和 PVD 过程
    使用注入或扩散过程给硅加入掺杂剂
    氧化
    在 100 的范围内形成栅极氧化层
    形成阻挡层(Ti、TiN、Ta 和 TaN,用作硅与铝或铜之间保护层)

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