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最新产品 > 计量仪器 > 长度计量仪器 > 激光干涉仪>德国耶拿尔 激光干涉仪 ZLM900-3...

更新时间:2024-12-21 03:45:28 点击:644次

产品型号 ZLM900-3D
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 激光干涉仪
品牌 返回顶部 德国耶拿尔
产地 返回顶部 德国
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技术参数
最大测量速度 返回顶部 4m/s
分辨率 返回顶部 1nm (位置), 0.01"(角秒)
测量精度 返回顶部 <50nm/m (使用高精度温度传感器)
频率 返回顶部 40MHz
其他信息
产品简介

3-轴外差频率激光干涉仪,用于位置测量、俯仰角、偏摆角和滚动角的测量
高柔性调整模块,用于数控机床的校定
最大动态测量速度4m/s
标准分辨率1nm (位置), 0.01"(角秒)
精度<50nm/m (使用高精度温度传感器)
兼容PCI和PXI总线,兼容网络
也适用于3D的快速调整
所有3轴的实时时间测量
最多可扩展到6轴
小型反射镜
外部最大触发频率40MHz

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