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最新产品 > 计量仪器 > 表面测量仪器 > 台阶仪>KOSAKA 接触式台阶仪 ET 200

更新时间：2024-12-19 09:22:03 点击：478次

产品简介
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技术参数

产品型号	ET 200
参考报价	返回顶部面议
基本规格
产品类型	返回顶部台阶仪
品牌	返回顶部 KOSAKA
产地	返回顶部日本
	返回顶部我来纠错（有奖）
技术参数
测量精度	返回顶部 1σ= 1nm
最大工件尺寸	返回顶部 φ160mm
最大工件厚度	返回顶部 50mm
最大工件重量	返回顶部 2kg
电源	返回顶部 AC100V±10%, 50/60HZ, 300VA
仪器尺寸	返回顶部 W494×D458×H610mm
其他信息
产品简介	规格一、測定工件： 1. 最大工件尺寸：φ160mm 2. 最大工件厚度：50mm 3. 最大工件重量：2kg 二、檢出器（pick up）： 1. Z方向測定範圍：Max. 600μm 2. Z方向分解能：0.1nm 3. 測定力：min.1mgf,max.50mg 4. 觸針半徑：2 μm 5. 驅動方式：直動式 6. 再現性：1σ= 1nm 三、X 軸 (基準軸)： 1. 移动量(最大測長)：100mm 2. 移動的真直度：0.2μm/100mm 3. 移動,測定速度：0.02 ~ 10mm/s 4. 線性尺(linar scale)：分解能 0.1μm 四、Z軸： 1. 移动量：50mm 2. 移動速度：max.2mm/S 3. 檢出器自動停止機能 4. 位置決定分解能：0.2μm 五、工件台： 1. 工件台尺寸：φ160mm 2. 機械手動倾斜： ± 1mm/150mm 六、工件觀察：max.110 倍(可選購其它高倍率CCD) 七、床台：材質為花崗岩石八、防振台(選購)：落地型或桌上型九、電源：AC100V±10%, 50/60HZ, 300VA 十、本體外觀尺寸及重量： W494×D458×H610mm, 120kg (不含防震台) 返回顶部
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应用范围	返回顶部此仪器尚未有相关应用
用户数	返回顶部此仪器尚未有用户数
技术创新	KOSAKA ET 200基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）**接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET 200能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。 ET 200配备了各种型号，提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD原位采集设计，可直接观察到**工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。返回顶部
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网友评分	评分：（0名网友评分） 5星：0人 4星：0人 3星：0人 2星：0人 1星：0人返回顶部
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