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更新时间:2024-12-19 22:10:45 点击:482次

产品型号 ET 5000
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 台阶仪
品牌 返回顶部 KOSAKA
产地 返回顶部 日本
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技术参数
分辨率 返回顶部 Z: 0.1 nm X: 0.1 μm
测量范围 返回顶部 Z: 100 μm X: 100 mm
测量精度 返回顶部 1 σ 1 nm
最大工件尺寸 返回顶部 880 × 680 mm
其他信息
产品简介

产品介绍

ET5000可以自动高精度测量尺寸880mm×230mm的大型样品。加载/卸载样品平台是可选的。其具有良好的稳定性、高精度和强大的功能。在平板显示器FPD,晶片,硬盘和其他纳米尺度上的应用广泛。

技术参数
最大样品尺寸:880 × 680 mm
再现性:1 σ 1 nm
测量范围:Z: 100 μm X: 100 mm
分辨率:Z: 0.1 nm X: 0.1 μm
测应力:0.5 μN to 500 μN

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技术创新 (1)极佳的台阶再现性与线性度。 (2)超高真直度,可确保量测图形不受任何影响,并可在真直度的保证下进行长距离测量。 (3)采用超低噪音直动式 LVDT,超低测定力的触针可任意调节。 (4)配备高分辨率的 CCD 即时进行高精度定位测量。 (5)可对应各种国际规范,测定参数多达 60 多种。 (6)适用于各种与纳米材料有关的MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。
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