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最新产品 > 样品处理设备 > 泵装置 > 真空泵 > 分子泵>分子泵 tx

更新时间:2024-12-24 15:10:54 点击:1355次

产品型号 tx
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 分子泵
品牌 返回顶部
产地 返回顶部 美国
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技术参数
其他信息
产品简介

来自于镀膜工艺方面的技术难题
系统的本底压力在 10-7 mbar的范围
稳定的工艺压力在 10-3 mbar的范围
必须具有高氩气负载能力
大量热量的产生

来自于环境以及系统运行中的技术难题
必须保持高产量的客观事实
湿度及冷凝水
颗粒及混合物
系统整合控制需求
系统自我早期诊断需求
精确的转子设计
温度的监视及控制
内置保护装置 (喷吹/放气)
工业级的耐用性外壳设计
内置的早期自我诊断系统

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