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最新产品 > 样品处理设备 > 泵装置 > 真空泵 > 干泵>爱德华 高真空干泵 EXP
更新时间：2024-12-19 02:24:07 点击：448次
| 产品型号 | EXP |
|---|---|
| 参考报价 | 返回顶部 面议 |
| 基本规格 | |
| 产品类型 | 返回顶部 干泵 |
| 品牌 | 返回顶部 爱德华 |
| 产地 | 返回顶部 英国 |
| 返回顶部 我来纠错（有奖） | |
| 技术参数 | |
| 其他信息 | |
| 产品简介 |
EXP系列干泵以模块化的集成方式提供超强性能，可以安装在工艺设备内部或者远程安装。通过集成的控制模式，他可以与工艺设备进行简单的通讯连接。 EXP系列用于洁净的或较为洁净的半导体共工艺，诸如干法显影/去胶，氧化物刻蚀和离子注入机等终端应用上。 返回顶部 |
| 应用文章 | 返回顶部 此仪器尚未有相关文章 |
| 产品样本 | 此仪器尚未有相关样本 返回顶部 |
| 应用范围 | 返回顶部此仪器尚未有相关应用 |
| 用户数 | 返回顶部 此仪器尚未有用户数 |
| 技术创新 | 特点与优点 独特的，有专利的机械结构 - 地极限压力 - 低振动 高可靠性 - 低维护成本 - 零周期性维护 广泛的应用范围 -从洁净工艺到氧化物刻蚀 更高的效率 - 低功率 - 节省下层厂房的空间 - 闲置模式 易于安装 - 设备内部安装或远程安装 - 重量轻 - 小低脚设计 - 即插即用的设备接口 设计特点 独特地专利结构 此结构得到实际应用的验证，实现了低成本下的卓越性能。 模块化设计能提供最小占地面积，且易于网络化安装，并且使用终端用户控制器（EUC)就可实现本地控制。 Micro TIM设备接口支持对所有主要半导体设备的即插即用功能。 应用范围 EPX有一系列型号可以满足各种工艺要求。 返回顶部 |
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| 网友评分 |
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