**********************近场扫描光学显微镜的基本构造********************
      进行NSOM实验，必须将点光源靠到样品表面纳米距离，然后点光源扫描样品表面，再收集探测经过样品表面的光学信号。我们使用经金属涂层处理的带孔洞椎形光纤作为NSOM探针。光经耦合进入探针，从亚光波长孔径的探针尖端发出，NSOM的分辨率就是由孔径的大小决定(最优可以达到50纳米)。点光源和样品表面的距离通常通过正常的力反馈机制(与AFM相同)控制，因此可以进行接触、敲击和非接触模式的NSOM实验。针对不同的材料和实验，通常有四种NSOM操作模式： 

* 透射模式成像——样品经过探针照明，光通过样品并与样品相互作用后被收集探测；
* 反射模式成像——样品经过探针照明，光从样品表面反射并被收集探测；
* 收集模式成像——样品经远场光源照明(从上或下面均可)，探针将光信号从样品表面收集；
* 照明收集模式成像——用同一根探针同时进行照明和收集探测反射光；

在近场光学领域，部分扫描模式只有通过Nanonics提供的独特玻璃光纤探针才能完成，因为我们独特的光纤探针具有很好的波导性能。

      收集的光可通过多种探测器探测，如APD(Avalanche Photo Diode)、PMT(Photomultiplier Tube)、InGaAs探测器、CCD或通过光谱仪探测，通过探测器得到的信号经过数据处理得到样品材料的NSOM图像。


技术参数：

原子力扫描表征
-接触模式（可选）
-探针或者样品扫描都具有所有原子力显微镜的操作模式。
近场光学成像和激发表征 
-透射，反射，收集，激发模式
界面差别对比表征
-反射和透射模式
折射系数分析表征
-反射和透射模式
热导和阻值扩散分析表征
-接触AC模式
-无反馈激光通过外部媒介导入半导体，使用音叉反馈
在线远场共聚焦拉曼和荧光光谱成像
-反射和透射模式
-针尖增强拉曼散射和在超薄层面上做选择性拉曼散射，例如应变硅
纳米刻蚀
-纳米“笔”探针输送多种化学物质和气体
-近场光学刻蚀和常规方式的纳米刻蚀技术比如电子氧化等，并且可-以同时使用另外一根探针做在线同步分析
纳米压痕
-使用兆级帕斯卡压强，通过另外一个附加探针的在线同步分析将力学探针精确定位和控制。

++++++SPM 扫描头参数

样品扫描器
-压电扫描平台 （3D 扫描台™）
-高度7毫米
探针扫描器
-四个独立控制的压电扫描平台（3D 扫描台™）模块
-高度7毫米
扫描范围
-每根单探针扫描范围30 微米 (XYZ方向)
-仅样品扫描器扫描范围100微米(XYZ方向)
-样品扫描器和单探针扫描器扫描范围130微米 (XYZ方向)
-样品扫描器和双探针扫描器扫描范围160微米(XY方向)
扫描分辨率
- < 0.05 纳米 (Z方向)
-< 0.15纳米(XY方向)
-< 0.02纳米(XY方向) 低电压模式
粗定位
-样品粗调定位： XY 马达驱动范围5mm-分辨率0.25微米
-针尖粗调定位：
-XY方向马达驱动-驱动范围5mm-分辨率0.25微米
-Z方向马达驱动-驱动范围10mm-分辨率0.065微米
反馈机制
-音叉反馈（标准）
-激光反射反馈（可选）
常规样品尺寸
-标准尺寸可达到16毫米
-使用上置光学显微镜操可达到34毫米
-不使用样品扫描方式可以达到55毫米
-有些客户样品尺寸达到200mm也能扫描
-非常规尺寸样品：例如横截面高低起伏较大的样品等一些特殊形状样品
探针
-独特的玻璃探针，针尖可以提供不同的形貌和参杂金属颗粒或者涂层
各种形式的常规硅悬臂探针也可以使用

++++++成像分辨率

远场成像分辨率
-到达衍射限制
光学成像分辨率
-非共聚焦下光学分辨率500纳米左右
共聚焦成像分辨率
-200纳米
近场光学成像分辨率
-安装时保证100纳米分辨率；50纳米分辨率也可以提供
形貌成像分辨率
-Z 方向噪音有效值0.05 纳米（RMS）
-XY 横向分辨率：根据样品和针尖直径情况
热学成像分辨率
-至少100纳米
阻值成像分辨率
-至少25纳米

++++++热学&阻值成像

温度参数
-300度或者更高，要考虑样品情况
热学参数
-独特的双根纳米铂丝嵌在绝缘玻璃探针中
-热敏感度0.01 ºC
-测量阻值改变速率为0.38 Ω/ºC
阻值特点
-独特的双根纳米铂丝嵌在绝缘玻璃探针中并且可以做出不同的形状结构和涂层
-超高电势分辨率
-接触电阻极微小
-电学稳定& 抗氧化

++++++在线光学和电子/离子光学扫描同步完成

可以完成的表征类别
-远场光学，共聚焦光学，近场，微区拉曼，扫描电子显微镜（SEM）或者聚焦离子束（FIB）
整合优势
-样品扫描台上下光路开阔，可以做光学或电子/离子光学特征同步扫描联用

-将所有形式的光学显微镜整合在一起，包括上置光学显微镜和下置光学显微镜同时整合在探针扫描平台上

-整合了所有标准微区拉曼180度背反射几何形貌配置。下置光学显微镜和Nanonics独特的上下置光学显微镜可以做不同的透明和非透明样品

-具有所有常规的远场光学操作模式包括相位成像和界面差别对比

-可以使用上置，下置和双置光学显微镜做任何模式近场光学扫描，无需更换扫描头保证了实验结果稳定性和可重复性。
探测器类别
-PMT， APD 或者InGaAs 红外探测器
激光光源
-可提供深紫外到近红外激光
电视频系统
-在线CCD 视频成像

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