名称

内容

测量范围

Z轴（垂直）

160μm

X轴（水平）

17.5mm

分辨率

Z轴（垂直）

0．01μm/±20μm

0．02μm/±40μm

0．04μm/±80μm

测量项目

参数

Ra、Rz、Ry、Rq、Rt、Rp、Rv、Rmax、R3z、Rsk、Rs、Rsm、Rmr

标准

ISO,ANSI,DIN,JIS

图形

粗糙度轮廓，支承率曲线，直接轮廓

滤波器

RC,PC-RC,Gauss,D-P

取样长度(lr)

0.25,0.8,2.5mm

评定长度（ln）

Ln= lr×n   n=1~5

传感器

测量原理

位移式差动电感

触针

天然金刚石，90锥角，5μm针尖半径

测力

<4mN

导头

红宝石，滑行方向半径40mm

滑行速度

lr=0.25,  Vt=0.135mm/s

lr=0.8,   Vt=0.5mm/s

lr=2. 5,   Vt=1mm/s

返回     Vt=1mm/s

示值误差

不大于±10%

示值变动性

不大于6%

电源

内置锂离子充电电池，用8.4V,800mA充电器充电

外形尺寸

119×47×65mm

重量

约380g