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本仪器主机由以下五部分组成：PC微机、主机箱、高压油箱、测角仪及台式支架。
PC 微机的最低配置应能支持Windows98/2000/me/xp。
主机箱内有高压电源控制系统、接口线路和单片机系统、步进电机驱动器、计数放大器，以及1500V、24V、5V电源。
高压油箱输出15kV～30kV电压，通过高压电揽供给测角仪上的 X 射线管。
测角仪是测量执行机构。仪器的核心部件 X 射线管和 X 射线探测器就装在测角仪上。
本仪器的测角仪为θ-θ扫描Ψ测角仪。这是本研究所的专利技术。
X 射线管和 X 射线探测器同步等量相背扫描，二者各前进一个 θ，则衍射角改变 2θ，故名θ-θ扫描。在整个扫描过程中，衍射晶面法线保持不动，准确体现固定Ψ法的几何要求。
将上述θ-θ扫描平面设置在与Ψ平面相垂直的位置上，衍射晶面法线含于θ-θ扫描平面之中，且处在与试样表面垂直的平面里。这样，可以直观地看出，当θ-θ扫描平面沿着Ψ导轨转动时，该平面与试样表面之夹角就是Ψ角——衍射晶面与试样表面法线之夹角。这正是侧倾法的几何布置。所谓Ψ 测角仪，其实质即在于此。
测角仪上采用了圆弧滚动导轨、谐波齿轮等先进机械元件，运动精密而流畅。
本仪器的测角仪有三种型式：
1、X-350A型θ-θ扫描Ψ测角仪，2θ扫描范围120°～170°；
2、X-350A45170型θ-θ扫描Ψ测角仪 2θ扫描范围45°～170°；
3、X-350AL型同倾非对称测角仪。
台式支架用于支承测角仪。它包含 X、Y、Z 三个平移机构，均采用直线滚动导轨。底座和加长脚上装有螺栓支脚。调整螺栓支脚可以保证测角仪的主轴线与测试点法线重合。调整 Z 向平移机构可以校准测角仪至测试点的距离。调整 X、Y 平移机构则是为了对准选定的测试点，便于连续测定应力在工件表面各点的分布。螺栓支脚下端的球头用于连接电控永磁吸盘。立柱可以旋转360°，在采用了吸盘之后，旋转立柱可以扩大测试范围。

主要附件：

立式测量架
电解抛光机
电控永磁吸盘
热交换器
X射线防护罩
铸铁平板
工作台
试样夹具

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