美国ARRADIANCE 台式原子层沉积系统GEMStar-益择网-专业的仪器网上选购商城

更新时间：2024-09-13 23:06:45 点击：459次

产品型号	GEMStar
参考报价	返回顶部面议
基本规格
产品类型	返回顶部电导率仪
品牌	返回顶部 ARRADIANCE
产地	返回顶部美国
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技术参数
其他信息
产品简介	返回顶部
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应用范围	返回顶部此仪器尚未有相关应用
用户数	返回顶部此仪器尚未有用户数
技术创新	在小巧的机身（78 x56 x28 cm）中集成了原子层沉积所需的所有功能，可最多容纳9片8英寸基片同时沉积。GEMStar全系配备热壁，结合前驱体瓶加热，管路加热，横向喷头等设计，使温度均匀性高达99.9%，气流对温度影响减少到0.03%以下。高温度稳定度的设计不仅实现在 8英寸基体上膜厚的不均匀性小于1%，而且更适合对超高身宽比孔径结构登3D结构实现均匀薄膜覆盖，可实现对高达1500：1深宽比微纳孔径内部的均匀沉积。返回顶部
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