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更新时间:2024-12-20 19:55:49 点击:267次

产品型号 PVD-090-HMDS
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基本规格
产品类型 返回顶部 干燥箱
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技术创新 1)设备外壳采用医用级不锈钢316L不锈钢材质制作,内胆为不锈钢316L材料制成;采用C型不锈钢加热管,均匀分布在内胆外壁,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置;采用钢化、防弹双层玻璃观察窗,便于观察工作室内物品实验情况。
2)箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内保持高真空度。
3) 采用微电脑PID控制,系统具有自动控温,定时,超温报警等,采用LCD液晶显示,触摸式按钮,简单易用,性能稳定.
4)智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序、温度、真空度及每一程序时间。
5)HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,使真空箱密封性能极好,确保HMDS气体无外漏顾虑。
6)整个系统采用优质医用级316L不锈钢材料制作,无发尘材料,适用百级光刻间净化环境。
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