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牛津仪器推出最新TKD样品座——专用于透射EBSD花样采集
2013-10-30 10:27:39牛津仪器最新推出一款专为TKD分析的样品座，TKD即透射菊池花样演示分析（Transmission Kikuchi Diffraction）技术，是最新用于检测仅十几纳米尺度的EBSD分析方法，空间分辨率比传统技术提高一个数量级。该样品座方便用户将超轻薄样品放置于SEM中并符合光学原理的衍射花样，保证获得最佳信号量。
TKD分析仍使用原有EBSD软硬件，只是样品更薄且经过电解抛光穿孔。由于衍射信号来自样品下侧几个或几十个纳米厚度的区域，该技术也被称为透射EBSD（T-EBSD）。样品薄区的衍射范围较小，样品与探测器及极靴的几何位置是否理想是获得有效信号的必要条件之一。因此设计专门的样品座做TKD分析就显得尤关重要。
EBSD的商务经理，Jenny Goulden博士说：“TKD样品座是专为超薄样品设计，易于固定且符合光学原理。置于SEM中，即可使用AZtec EBSD系统轻松方便的实现高分辨的EBSD分析。
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