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最新产品 > 计量仪器 > 表面测量仪器 > 轮廓仪/粗糙度仪>AEP Technology 探针式轮廓仪 NA...

更新时间:2025-02-20 07:56:14 点击:323次

产品型号 NANOMAP 500LS
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 轮廓仪/粗糙度仪
品牌 返回顶部 AEP Technology
产地 返回顶部 美国
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技术参数
其他信息
产品简介

NANOMAP 500LS轮廓仪/三维形貌仪,既有高精密度和准确度的局部(Local)SPM扫描,又具备大尺度和高测量速度;既可用来获得样品表面垂直分辨率高达0.05nm的三维形态和形貌,又可以定量地测量表面粗糙度及关键尺寸,诸如晶粒、膜厚、孔洞深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等,并计算关键部位的面积和体积等参数。样件无须专门处理,在高速扫描状态下测量轮廓范围可以从1nm 到10mm。该仪器的应用领域覆盖了薄膜/涂层、光学,工业轧钢和铝、纸、聚合物、生物材料、陶瓷、磁介质和半导体等几乎所有的材料领域。

美国AEP Technology公司主要从事半导体检测设备, MEMS检测设备, 光学检测设备的生产制造,是表面测量解决方案行业的领先供应者,专门致力于材料表面形貌测量与检测。
ANOMAP 500LS轮廓仪/三维形貌仪技术特点

    常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的完美结合。
    双模式操作(针尖扫描和样品台扫描),即使在长程测量时也可以得到最优化的小区域三维测图。
    针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式,三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。
    在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察。
    针尖扫描采用双光学传感器,同时拥有宽阔测量动态范围(最大至500μm)及亚纳米级垂直分辨率 (最小0.1nm )
    软件设置恒定微力接触。
    简单的2步关键操作,友好的软件操作界面。

应用
 

    三维表面轮廓测量和粗糙度测量,即适用于精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件。
    薄膜和厚膜的台阶高度测量。
    划痕形貌,磨损深度、宽度和体积定量测量。
    空间分析和表面纹理表征。
    平面度和曲率测量。
    二维薄膜应力测量。
    微电子表面分析和MEMS表征。
    表面质量和缺陷检测。

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