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最新产品 > 计量仪器 > 表面测量仪器 > 轮廓仪/粗糙度仪>NanoFocus 三维激光扫描轮廓仪 μ...

更新时间:2024-05-30 22:08:19 点击:325次

产品型号 μscan custom
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 轮廓仪/粗糙度仪
品牌 返回顶部 NanoFocus
产地 返回顶部 德国
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技术参数
垂直范围 返回顶部 100mm
最大垂直分辨率 返回顶部 0,02um
仪器尺寸 返回顶部 L1000 x H750 x W800 (mm)
其他信息
产品简介

μscan系列机台采用模块化设计,特点是快速测量、不接触、不破坏、自动化。主要应用于材料表面的三维轮廓测量,粗糙度测量,宽度,高度,角度,半径、粗糙度等二维、三维数据分析。能直接测量较大面积的样品,而不用通过拼接。
μScan的中心部件扫描模块(x/y方向样品扫描)可以和不同的传感器(Z方向测量)连用,如Confocal point sensor(CF)、Autofocus sensor(AF)、Chromatic white light sensor(CLA)、Holographic sensor(CP)等。目前主配的是连接CF4激光共聚焦传感器。
CF4激光共聚焦传感器内,被照亮的小孔成像在被测量的表面,激光光束经由物镜迅速上下移动聚焦于待测物上,只有当焦平面和真实表面的点配对的时候,探测器才记录到一个表面信号。因此物镜得通过小的垂直步位移动,使信号通过位移传感器的位置移动被测出。根据特殊的内插技术,该系统的精度能达到10nm以下。


应用
集成电路封装和表面贴装:快速获得封装翘曲变形、引线共面性、粗糙度、焊料的体积、引线轮廓。
厚膜混合电路:膜厚度的自动化测量
精密部件:测量精密五金配件、塑料、半导体材料的轮廓、粗糙度等

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