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最新产品 > 计量仪器 > 表面测量仪器 > 轮廓仪/粗糙度仪>KOSAKA 探针接触式轮廓仪 ET 4...

更新时间:2024-12-19 00:19:44 点击:452次

产品型号 ET 4000
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 轮廓仪/粗糙度仪
品牌 返回顶部 KOSAKA
产地 返回顶部 日本
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技术参数
最大晶圆尺寸 返回顶部 210 × 210 mm to 300 × 400 mm
垂直范围 返回顶部 100μm
最大样品厚度 返回顶部 50mm
样品台 返回顶部 210mm×210mm
仪器尺寸 返回顶部 W660×D580×H660mm
电源 返回顶部 AC100V±10%,50/60HZ,800VA
其他信息
产品简介

式会社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年创立的公司,也是日本第一家发表光学干杠杆表面粗糙度计,是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为最 具代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。ET4000系列中,有ET4000A(多动能、自动化、可添加一款3D软件,扫出测量表面的 3D形貌) ,ET4000L(完全自动化的,针对体积较大的样品可与大型精密贵重玻璃或晶片尺寸样品) ,ET4000M(Y轴方向手动移动、性价比高、易于使用) ,常用的是ET4000A。ET4000系列具有良好的稳定性、高精度和强大的功能。在平板显示器FPD,晶片,硬盘和其他纳米尺度上的应用广泛。

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技术创新 1)极佳的台阶再现性与线性度。 (2)超高真直度,可确保量测图形不受任何影响,并可在真直度的保证下进行长距离测量。 (3)采用超低噪音直动式 LVDT,超低测定力的触针可任意调节。 (4)配备高分辨率的 CCD 即时进行高精度定位测量。 (5)可对应各种国际规范,测定参数多达 60 多种。 (6)适用于各种与纳米材料有关的MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。
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