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最新产品 > 计量仪器 > 表面测量仪器 > 轮廓仪/粗糙度仪>KOSAKA 探针接触式轮廓仪 ET 500...

更新时间:2024-12-17 11:02:29 点击:452次

产品型号 ET 5000
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 轮廓仪/粗糙度仪
品牌 返回顶部 KOSAKA
产地 返回顶部 日本
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技术参数
最大晶圆尺寸 返回顶部 880 × 680 mm
垂直范围 返回顶部 100 μm
最大垂直分辨率 返回顶部 0.1 nm
其他信息
产品简介

株式会社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年创立的公司,也是日本第一家发表光学干杠杆表面粗糙度计,是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为最具代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。
ET5000可以自动高精度测量尺寸880mm×230mm的大型样品。加载/卸载样品平台是可选的。其具有良好的稳定性、高精度和强大的功能。在平板显示器FPD,晶片,硬盘和其他纳米尺度上的应用广泛。

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技术创新 (1)极佳的台阶再现性与线性度。 (2)超高真直度,可确保量测图形不受任何影响,并可在真直度的保证下进行长距离测量。 (3)采用超低噪音直动式 LVDT,超低测定力的触针可任意调节。 (4)配备高分辨率的 CCD 即时进行高精度定位测量。 (5)可对应各种国际规范,测定参数多达 60 多种。 (6)适用于各种与纳米材料有关的MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。
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