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更新时间：2024-12-19 13:39:07 点击：476次

产品简介
相关配件
技术参数

产品型号	SR300
参考报价	返回顶部面议
基本规格
产品类型	返回顶部白光干涉测厚仪
品牌	返回顶部美国AST
产地	返回顶部美国
	返回顶部我来纠错（有奖）
技术参数
重复性	返回顶部误差小于1Ǻ
波长范围	返回顶部 400到1100 nm
应用领域	返回顶部半导体制造、医学，生物薄膜及材料领域等
测试厚度范围	返回顶部 20nm到50μm
光源类型	返回顶部高稳定性、长寿命的卤素灯
样品尺寸	返回顶部 200mmx200mm或直径为200mm
光斑尺寸	返回顶部 500μm至5mm
质保期	返回顶部一年的整机及零备件保修
电源	返回顶部 110–240V AC/50-60Hz，1.5A
其他信息
产品简介	系统配置： · 型号：SR300 · 探测器： 2048像素的CCD线阵列 · 光源：高稳定性、长寿命的卤素灯 · 光传送方式：光纤 · 台架平台：特殊处理铝合金，能够很容易的调节样品重量、200mmx200mm的大小 · 软件： TFProbe 2.2版本的软件 · 通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连 · 测量类型：薄膜厚度，反射光谱，折射率 · 电脑硬件要求：P3以上、最低50 MB的空间 · 电源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A · 保修：一年的整机及零备件保修产品规格： · 波长范围：400到1100 nm · 光斑尺寸：500μm至5mm · 样品尺寸：200mmx200mm或直径为200mm · 基板尺寸：最多可至50毫米厚 · 测量厚度范围：20nm到50μm · 测量时间：最快2毫秒 · 精确度：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较） · 重复性误差：小于1Ǻ 产品选项: 1.用于传递和吸收测量的传动夹具(SR300RT) ) 2.最低可测量直径为5μm(MSP300) 3. 在多个位置下，多个通道用于同时测量(SR300xX) 4. 在超过200或300毫米晶片上所进行的统一测绘（SRM300-300/200）产品应用: •半导体制造（PR，Oxide, Nitride..) •液晶显示（ITO，PR，cell gap... ..） •医学，生物薄膜及材料领域等 •油墨，矿物学，颜料，墨粉 •医药，中间设备 •光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... .. •半导体化合物 •在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜 •非晶体，纳米材料和结晶硅返回顶部
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产品样本	此仪器尚未有相关样本返回顶部
应用范围	返回顶部此仪器尚未有相关应用
用户数	返回顶部此仪器尚未有用户数
技术创新	易于安装容易操作的基于视窗结构的软件先进的光学设计，以确保能发挥出最佳的系统性能基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测量独特的光源设计，有着较好的光源强度稳定性有四种方法来调整光的强度：通过电源的调节旋钮来调节电源输出的大小在光输出端口滤光槽内调整滤光片来调整调整光束大小通过TFProbe软件，在探测器里调整积分时间最多可测量5层的薄膜厚度和折射率在毫秒的时间内，可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参数能够用于实时或在线的厚度、折射率测量系统配备大量的光学常数数据及数据库对于每个被测薄膜样品，用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分析；可升级至MSP（显微分光光度计）系统，SRM成像系统，多通道分析系统，大点测量。通过模式和特性结构直接测量。提供的各种配件可用于特殊结构的测量，例如通过曲线表面进行纵长测量。 *2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。返回顶部
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网友评分	评分：（0名网友评分） 5星：0人 4星：0人 3星：0人 2星：0人 1星：0人返回顶部
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