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最新产品 > 物理分析仪器 > 其他物理分析仪器 > 白光干涉测厚仪>美国AST 显微分光光度计 MSP300...

更新时间:2024-12-21 04:59:40 点击:459次

产品型号 MSP300
参考报价 返回顶部 面议
基本规格
产品类型 返回顶部 白光干涉测厚仪
品牌 返回顶部 美国AST
产地 返回顶部 美国
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技术参数
波长范围 返回顶部 400nm到1000 nm
应用领域 返回顶部 医学,生物薄膜及材料领域等
测试厚度范围 返回顶部 10nm 到25 µm
准确度 返回顶部 优于0.5%
重复性 返回顶部 误差小于2 Ǻ
样品尺寸 返回顶部 标准150×150mm
光斑尺寸 返回顶部 100µm (4x), 40µm (10x), 8µm (50x)
光源类型 返回顶部 直流稳压卤素灯
仪器重量 返回顶部 120磅总重
仪器尺寸 返回顶部 16’x16’x18’ (操作桌面设置)
质保期 返回顶部 一年的整机及零备件保修
电源 返回顶部 110–240V AC/50-60Hz,3A
其他信息
产品简介 产品简介:
显微分光光度计(Micro-Photometry、Micro Spectrophotometry)是用来描述薄膜、涂层厚度超过1微米的物件的光学性能的。显微分光光度计同样也被称作为:microreflectometer、micro-reflectometer、microspectrometer、microphotometer(Spectroscopic)、microspectroscopic photometer等等。依靠着Angstrom公司独特的专业设计,MSP系列产品有着在线的实时数字成像系统,以及强大的数字编辑能力、拥有者反射率、透射率及吸收光谱等测量工具。可以在毫秒的时间内就完成数据采集。在进行诸如反射、透射、涂层厚度、折射率(光学常数)等光学性能改变的运动学研究方面,TFProbe软件允许用户设立加热阶段或冷却阶段。在各种MSP型号的可移动X-Y平台或ρ-θ平台中都可以用到自动成像功能,在使用螺杆的电动调焦功能上也同样的能使用此功能。仪器所能测量的波长范围通常是用户考虑的最重要的一个参数,Angstrom公司的MSP产品,其测量波长覆盖了从深紫外光(DUV)到近红外光的范围。这个波长范围应当诸如薄膜或涂层的厚度、反射或透射的典型波长范围等因素决定。

产品系统配置:
型号:MSP300R
探测器:2048像素的CCD阵列
光源:直流稳压卤素灯
光传送方式:光纤
自动的台架平台:特殊处理的铝合金操作平台,手动调节移动范围为75mm×55mm
物镜有着长焦点距离:4×,10×,50×
通讯接口:USB的通讯接口与计算机相连
测量类型:反射/透射光谱、薄膜厚度/反射光谱和特性参数
计算机硬件:英特儿酷睿2双核处理器,200G硬盘、DVD刻录机,19”LCD显示器
电源:110–240V AC/50-60Hz,3A
尺寸:16’x16’x18’ (操作桌面设置)
重量:120磅总重
保修:一年的整机及零备件保修

产品基本参数:
波长范围:400nm到1000 nm
波长分辨率: 1nm
光斑尺寸:100µm (4x), 40µm (10x), 8µm (50x)
样品尺寸:标准150×150mm
基片尺寸:最多可至20mm厚
测量厚度范围: 10nm 到25 µm
测量时间:最快2毫秒
精确度:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)
重复性误差:小于2 Ǻ

产品应用领域:
半导体制造(PR,Oxide, Nitride..)
液晶显示(ITO,PR,Cell gap... ..)
医学,生物薄膜及材料领域等
油墨,矿物学,颜料,调色剂等
医药及医药中间设备等
光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
半导体化合物
在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
非晶体,纳米材料和结晶硅

产品可选项:
波长可扩展到远深紫外光(MSP100)或者近红外光范围(MSP500)
高功率的深紫外光用于小斑点测量
可根据客户的特殊需求来定制
在动态实验研究时,可根据需要对平台进行加热或致冷
可选择的平台尺寸最多可测量300mm大小尺寸的样品
更高的波长范围的分辨率可低至0.1nm
各种滤光片可供各种特殊的需求
可添加应用于荧光测量的附件
可添加用于拉曼应用的附件
可添加用于偏光应用的附件
自动成像平台最多可对300mm的晶片进行操作
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技术创新 *基于视窗结构的软件,很容易操作 *先进的深紫外光学及坚固耐用的抗震设计,以确保系统能发挥出最佳的性能及最长的正常运行时间 *基于阵列设计的探测器系统,以确保快速测量 *低价格,便携式及灵巧的操作台面设计 *在很小的尺寸范围内,最多可测量多达5层的薄膜厚度及折射率 *在毫秒的时间内,可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参数 *能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射率 *系统配备大量的光学常数数据及数据库 *对于每个被测薄膜样品,用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型(EMA)测量分析 *系统集合了可视化、光谱测量、仿真、薄膜厚度测量等功能于一体 *能够应用于不同类型、不同厚度(最厚可测200mm)的基片测量 *使用深紫外光测量的薄膜厚度最低可至20 Ǻ *2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面 *先进的成像软件可用于诸如角度、距离、面积、粒子计数等尺寸测量 *各种不同的选配件可满足客户各种特殊的应用
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