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产品描述

Hakuto 全自动离子刻蚀机 MEL 3100 具有良好的均匀性和高蚀刻率, 均匀度 < ±5%, 刻蚀速率 >10 nm/min, 具有高冷却效果.

所有流程全自动减少人工操作, 从而保证了产品的无差错、高稳定性和高质量.

占用空间小, 容易维护和用户操作友好.

Hakuto 全自动离子刻蚀机 MEL 3100 产品优势：

1. 所有流程全自动减少人工操作, 从而保证了产品的无差错、高稳定性和高质量

2. 盒式房间采用**微粒过滤器

3. 采用高质量的蚀刻考夫曼离子源, 保证良好的均匀性和高蚀刻率

4. 占用空间小

5. 传输系统采用了 SCARA 型机器人

6. 控制单元系统提供操作通过触摸屏/ 10.4英寸, 数据记录可以显示在屏幕上

7. 高冷却效果

8. 良好的重复性和再现性的旋转和倾斜阶段具有良好的可重复性利用脉冲电动机

9. 容易维护这个系统设计重点是容易维护和用户友好

10. 关键部件服务伯东的经销商是系统中的关键部件涡轮泵系统、离子源提供客户快速响应时间和本地服务能力,减少停机时间的工具

Hakuto 全自动离子刻蚀机 MEL 3100 技术参数：

Hakuto 全自动离子刻蚀机 MEL 3100 技术参数:

portant;">Model		portant;">MEL3100	portant;">	portant;">Main body
portant;">Wafer size		portant;">3"～6"	portant;">	portant;">Power Supply	portant;">AC200V 3ph 40A
portant;">Wafer per batch		portant;">1 wafer	portant;">	portant;">Power Supply	portant;">*two lines
portant;">Cassette	portant;">No.	portant;">25 wafers	portant;">	portant;">Cooling Water	portant;">15 (l/min)
portant;">Cassette	portant;">Q‘ty	portant;">1pc.	portant;">	portant;">Cooling Water	portant;"><20℃
portant;">Throughput		portant;">10 (wafer/hr) *1	portant;">	portant;">CDA	portant;">0.5 (MPa)
portant;">Pressure	portant;">Ultimate	portant;">8×10-5 (Pa) *2	portant;">	portant;">CDA	portant;">>10 (l/min)
portant;">Pressure	portant;">Process	portant;">2×10-2 (Pa) *2	portant;">	portant;">N2	portant;">0.2 (MPa)
portant;">Etching	portant;">Rate	portant;">>10 (nm/min)@SiO2 *3	portant;">	portant;">N2	portant;">>40 (l/min)
portant;">Etching	portant;">Uniformity	portant;">±5%@132mm (6") *3	portant;">	portant;">Ar	portant;">0.2 (MPa)
portant;">Wafer surface temp.		portant;"><100℃ *3	portant;">	portant;">Ar	portant;">20 (sccm)
portant;">Stage rotating		portant;">1～20 (rpm) ±5%	portant;">	portant;">He	portant;">0.2 (MPa)
portant;">Stage tilting		portant;">±90°±0.5°	portant;">	portant;">He	portant;">20 (sccm)
portant;">Dimension W×D×H (mm)	portant;">Main body	portant;">1,600×2,175×1,900	portant;">	portant;">*need additional utilities for Dry pump
	portant;">Co***oller	portant;">640×610×1,900	portant;">	portant;">*need additional utilities for Dry pump
	portant;">Chiller	portant;">555×515×1,025	portant;">	portant;">	portant;">
portant;">Weight (kg)	portant;">Main body	portant;">1,700	portant;">	portant;">	portant;">
	portant;">Co***oller	portant;">200	portant;">	portant;">	portant;">
	portant;">Chiller	portant;">100	portant;">	portant;">	portant;">
portant;">*1: Estimated process time 5min			portant;">	portant;">	portant;">
portant;">*2: No wafer on stege / process chamber			portant;">	portant;">	portant;">
portant;">*3: Depending on process

Hakuto 全自动离子刻蚀机 MEL 3100 产品示意图：

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Hakuto 全自动离子刻蚀机 MEL 3100 技术参数：

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