Hakuto 全自动离子刻蚀机 MEL3100用于蚀刻覆铜板-益择网-专业的仪器网上选购商城

某印制板线路板生产工厂采用伯东 Hakuto 全自动离子刻蚀机 MEL3100 将覆铜板上不需要的铜蚀刻掉, 将需要保留的铜保留下来.

Hakuto 全自动离子刻蚀机 MEL3100 技术参数:

portant;"> Model	portant;"> MEL3100
portant;"> Wafer size	portant;"> 3"～6"
portant;"> Wafer per batch	portant;"> 1 wafer
portant;"> Cassette No.	portant;"> 25 wafers
portant;"> Cassette Q‘ty	portant;"> 1pc.
portant;"> Throughput	portant;"> 10 (wafer/hr) *1
portant;"> Pressure Ultimate	portant;"> 8×10-5 (Pa) *2
portant;"> Pressure Process	portant;"> 2×10-2 (Pa) *2
portant;"> Etching Rate	portant;"> >10 (nm/min)@SiO2 *3
portant;"> Etching Uniformity	portant;"> ±5%@132mm (6") *3
portant;"> Wafer surface temp.	portant;"> <100℃ *3
portant;"> Stage rotating	portant;"> 1～20 (rpm) ±5%
portant;"> Stage tilting	portant;"> ±90°±0.5°
portant;"> *1: Estimated process time 5min
portant;"> *2: No wafer on stege / process chamber
portant;"> *3: Depending on process

该工厂采用 Hakuto 全自动离子刻蚀机 MEL 3100 的主要原因:

1. 所有流程全自动减少人工操作, 从而保证了产品的无差错、高稳定性和高质量

2. 采用高质量的蚀刻考夫曼离子源, 保证良好的均匀性和高蚀刻率

3. 占用空间小

4. 控制单元系统提供操作通过触摸屏/ 10.4英寸, 数据记录可以显示在屏幕上

5. 高冷却效果

6. 良好的重复性和再现性的旋转和倾斜阶段具有良好的可重复性利用脉冲电动机

7. 快速响应时间和本地服务能力, 减少停机时间的工具

工厂采用 Hakuto 全自动离子刻蚀机 MEL 3100 运行结果：

1. 提高蚀刻过程的均匀性

2. 提高精密程度, 提高产线的生产工艺能力

3. 提高产线的生产率, 降低劳动强度, 保证生产的连续性

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                   M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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