Hakuto 离子蚀刻机 10IBE 用于制作闪耀罗兰光栅
2021-02-01 08:36:51 伯东企业(上海)有限公司 发布
Hakuto 离子蚀刻机 10IBE 技术参数:
portant;">
基板尺寸 |
portant;">
< Ф8 X 1wfr |
portant;">
样品台 |
portant;">
直接冷却(水冷)0-90 度旋转 |
portant;">
离子源 |
portant;">
16cm 考夫曼离子源 |
portant;">
均匀性 |
portant;">
±5% for 4”Ф |
portant;">
硅片刻蚀率 |
portant;">
20 nm/min |
portant;">
温度 |
portant;">
<100 |
Hakuto 离子刻蚀机 10IBE 离子源是配伯东公司代理美国考夫曼博士创立的 KRI考夫曼公司的考夫曼离子源 KDC 160
伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC160 技术参数:
portant;">
离子源型号 |
portant;">
离子源 KDC 160 |
portant;">
Discharge |
portant;">
DC 热离子 |
portant;">
离子束流 |
portant;">
>650 mA |
portant;">
离子动能 |
portant;">
100-1200 V |
portant;">
栅极直径 |
portant;">
16 cm Φ |
portant;">
离子束 |
portant;">
聚焦, 平行, 散射 |
portant;">
流量 |
portant;">
2-30 sccm |
portant;">
通气 |
portant;">
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
portant;">
典型压力 |
portant;">
< 0.5m Torr |
portant;">
中和器 |
portant;">
灯丝 |
Hakuto 离子刻蚀机 10IBE 真空腔采用 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 700, 可抽的真空度 < 1 · 10-7 hpa, 良好的保持真空腔的真空度.
若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :
上海伯东 : 罗先生 台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
伯东版权所有, 翻拷必究!
- 网友评论:
- 已有0条评论