全自动离子刻蚀机 MEL 3100 应用于集成电路制造中刻蚀-益择网-专业的仪器网上选购商城

某高端半导体制造公司, 采用Hakuto 全自动离子刻蚀机 MEL 3100运用在集成电路制造的刻蚀工艺.

Hakuto 全自动离子刻蚀机 MEL 3100 技术参数:

portant;"> Model	portant;"> MEL3100
portant;"> Wafer size	portant;"> 3"～6"
portant;"> Wafer per batch	portant;"> 1 wafer
portant;"> Cassette No.	portant;"> 25 wafers
portant;"> Cassette Q‘ty	portant;"> 1pc.
portant;"> Throughput	portant;"> 10 (wafer/hr) *1
portant;"> Pressure Ultimate	portant;"> 8×10-5 (Pa) *2
portant;"> Pressure Process	portant;"> 2×10-2 (Pa) *2
portant;"> Etching Rate	portant;"> >10 (nm/min)@SiO2 *3
portant;"> Etching Uniformity	portant;"> ±5%@132mm (6") *3
portant;"> Wafer surface temp.	portant;"> <100℃ *3
portant;"> Stage rotating	portant;"> 1～20 (rpm) ±5%
portant;"> Stage tilting	portant;"> ±90°±0.5°
portant;"> *1: Estimated process time 5min
portant;"> *2: No wafer on stege / process chamber
portant;"> *3: Depending on process

Hakuto 全自动离子刻蚀机 MEL 3100 产品优势：

1. 所有流程全自动减少人工操作, 从而保证了产品的无差错、高稳定性和高质量

2. 盒式房间采用高效微粒过滤器

3. 采用高质量的蚀刻考夫曼离子源, 保证良好的均匀性和高蚀刻率

4. 占用空间小

5. 传输系统采用了 SCARA 型机器人

6. 控制单元系统提供操作通过触摸屏/ 10.4英寸, 数据记录可以显示在屏幕上

7. 高冷却效果

8. 良好的重复性和再现性的旋转和倾斜阶段具有良好的可重复性利用脉冲电动机

9. 容易维护这个系统设计重点是容易维护和用户友好

10. 关键部件服务伯东的经销商是系统中的关键部件涡轮泵系统、离子源提供客户快速响应时间和本地服务能力,减少停机时间的工具

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生台湾伯东 : 王
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                   M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw

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