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Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J用于光学器件精密加工

2021-02-01 08:42:03  伯东企业(上海)有限公司  发布
  某光学器件制造商采用伯东 Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J 应用于光学器件精密加工通过蚀刻工艺提高光学器件聚酰亚胺薄膜的表面光洁度.

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J 技术参数

portant;">

Φ4 inch X 12

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基片尺寸

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Φ4 inch X 12

Φ5 inch X 10

Φ6 inch X 8

portant;">

均匀性

portant;">

±5%

portant;">

硅片刻蚀率

portant;">

20 nm/min

portant;">

样品台

portant;">

直接冷却,水冷

portant;">

离子源

portant;">

Φ20cm 考夫曼离子源

 

Hakuto 离子刻蚀机 20IBE-J 的核心构件离子源采用的是伯东公司代理美国 考夫曼博士创立的 KRI考夫曼公司的射频离子源 RFICP220

伯东 KRI 射频离子源 RFICP 220 技术参数:

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离子源型号

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RFICP 220

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Discharge

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RFICP 射频

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离子束流

portant;">

>800 mA

portant;">

离子动能

portant;">

100-1200 V

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栅极直径

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20 cm Φ

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离子束

portant;">

聚焦平行散射

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流量

portant;">

10-40 sccm

portant;">

通气

portant;">

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

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典型压力

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

中和器

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LFN 2000

 

采用伯东 Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J  可以使 PVRMS分别为1.347μm340nm的粗糙表面, 通过蚀刻其粗糙度可降低至75nm13nm; PVRMS分别为61nm8nm的表面, 其粗糙度可降低至9nm1nm. 刻蚀工艺能有效提高光学器件聚酰亚胺薄膜的表面光洁度.

 

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                &

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