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KRI考夫曼射频离子源RFICP220溅射制备堵片传感器薄膜

2021-02-02 06:44:56  伯东企业(上海)有限公司  发布
 为了使堵片传感器的灵敏度分辨率、测量范围小、测量精度等得到提高可实现对堵片打开信号的可靠、稳定测量满足航天飞行器发动机控制系统信号测试需要某堵片传感器制造商采用伯东 KRI 考夫曼射频离子源 RFCIP220 溅射制备堵片传感器薄膜.

 

伯东 KRI 射频离子源 RFICP220 技术参数:

portant;">

离子源型号

portant;">

RFICP220

portant;">

Discharge

portant;">

RFICP 射频

portant;">

离子束流

portant;">

>800 mA

portant;">

离子动能

portant;">

100-1200 V

portant;">

栅极直径

portant;">

20 cm Φ

portant;">

离子束

portant;">

聚焦,  平行,  散射

portant;">

流量

portant;">

10-40 sccm

portant;">

通气

portant;">

Ar,  Kr,  Xe,  O2,  N2,  H2,  其他

portant;">

典型压力

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

长度

portant;">

30 cm

portant;">

直径

portant;">

41 cm

portant;">

中和器

portant;">

LFN 2000

可选灯丝中和器可变长度的增量

KRI 射频离子源 RFICP 220

 

KRI 离子源的独特功能实现了更好的性能增强的可靠性和新颖的材料工艺. KRI 离子源已经获得了理想的薄膜和表面特性而这些特性在不使用 KRI 离子源技术的情况下是无法实现的.

 

KRI 离子源是领域公认的领导者已获得许多专利. KRI 离子源已应用于许多已成为行业标准的过程中.

 

伯东是德国 Pfeiffer 真空泵,  检漏仪,  质谱仪,  真空计,  美国 KRI 考夫曼离子源,  美国HVA 真空阀门,  美国 inTEST 高低温冲击测试机,  美国 Ambrell 感应加热设备

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