考夫曼射频离子源RFICP220辅助磁控溅射沉积Cu-W 膜
2021-02-02 06:46:28 伯东企业(上海)有限公司 发布
KRI 射频离子源 RFICP380 技术参数:
portant;">
射频离子源型号 |
portant;">
RFICP380 |
portant;">
Discharge 阳极 |
portant;">
射频 RFICP |
portant;">
离子束流 |
portant;">
>1500 mA |
portant;">
离子动能 |
portant;">
100-1200 V |
portant;">
栅极直径 |
portant;">
30 cm Φ |
portant;">
离子束 |
portant;">
聚焦, 平行, 散射 |
portant;">
流量 |
portant;">
15-50 sccm |
portant;">
通气 |
portant;">
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
portant;">
典型压力 |
portant;">
< 0.5m Torr |
portant;">
长度 |
portant;">
39 cm |
portant;">
直径 |
portant;">
59 cm |
portant;">
中和器 |
portant;">
LFN 2000 |
上图为磁控溅射系统工作示意图
KRI 离子源的独特功能实现了更好的性能, 增强的可靠性和新颖的材料工艺. KRI 离子源已经获得了理想的薄膜和表面特性, 而这些特性在不使用 KRI 离子源技术的情况下是无法实现的. 因此伯东的KRI 考夫曼射频离子源 RFCIP380 被客户采用作为 4, 5 溅射离子源.
客户材料:
基片为φ25mmX4mm 的玻璃片, W 靶纯度 99.9%, 尺寸 φ76mmX4mm, 铜靶纯度 99.99%, 尺寸 φ76mmX4mm, 工作气体为纯度 99.99% 的氩气.
运行结果:
当 W 含量在11.1%时, Cu-W 薄膜具有最好的硬度和耐磨性.
伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.
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