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KRI离子源辅助镀膜IAD时,霍尔离子源和考夫曼离子源哪个好

2021-02-02 07:16:32  伯东企业(上海)有限公司  发布
  光学镀膜是光学工业中最为重要的工艺之一,  其中离子源辅助镀膜技术是一种目前技术先进的光学镀膜技术.  离子源辅助镀膜IAD的作用有:

1. 填充密度提高:折射率提高

2. 波长漂移减少

3. 红外波段的水气吸收减少

4. 增强了膜层的结合力、耐摩擦能力,  机械强度,  提高表面光洁度

5. 控制膜层的应力

6. 减少膜层的吸收和散射

7. 提高生产效率

 

离子源工作原理

在真空环境下,  利用发射的电子在电场合磁场的相互作用下,  使充入真空室的气体产生离化,  在电场合磁场的作用下发射离子. 

 

上海伯东代理美国考夫曼公司霍尔离子源、考夫曼离子源和射频离子源,  选择哪类型离子源,  用于辅助镀膜 IAD呢?今天就跟大家简单介绍这三种离子源.

 

霍尔离子源

霍尔离子源属于高浓度低动能型, 其主要构成结构有:

1. 灯丝

2. 阳极模組

3. 主要模組

4. 底座(可调整角度, 高度)

实图如下:

KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列在售型号及技术参数:

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离子源型号

portant;">

霍尔离子源

eH200(停产)

portant;">

霍尔离子源

eH400
eH400LE

portant;">

霍尔离子源

eH1000
eH1000LE
eH1000LO

portant;">

霍尔离子源

eH1000xO2

portant;">

霍尔离子源

eH2000
eH2000LE
eH2000HO

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霍尔离子源

eH3000
eH3000LO
eH3000MO

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Cathode/Neutralizer

portant;">

F or HC

portant;">

F or HC

portant;">

F or HC

portant;">

F or HC

portant;">

F or HC
HC
HC

portant;">

HC

portant;">

电压

portant;">

30-300V

portant;">

50-300V
30-150V

portant;">

50-300V
30-150V
50-300V

portant;">

100-300V

portant;">

50-300V
30-150V
50-250V

portant;">

50-250V
50-300V
50-250V

portant;">

电流

portant;">

2A

portant;">

5A
10A

portant;">

10A
12A
5A

portant;">

10A

portant;">

10A
15A
15A

portant;">

20A
10A
15A

portant;">

散射角度

portant;">

>45

portant;">

>45

portant;">

>45

portant;">

>45

portant;">

>45

portant;">

>45

portant;">

可充其他

portant;">

Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others

portant;">

气体流量

portant;">

1-15sccm

portant;">

2-25sccm

portant;">

2-50sccm

portant;">

2-50sccm

portant;">

2-75sccm

portant;">

5-100sccm

portant;">

高度

portant;">

2.0“

portant;">

3.0“

portant;">

4.0“

portant;">

4.0“

portant;">

4.0“

portant;">

6.0“

portant;">

直径

portant;">

2.5“

portant;">

3.7“

portant;">

5.7“

portant;">

5.7“

portant;">

5.7“

portant;">

9.7“

portant;">

水冷

portant;">

portant;">

可选

portant;">

可选

portant;">

可选

portant;">

portant;">

可选

 

考夫曼离子源 KDC

考夫曼离子源 KDC属于高浓度低动能型, 其主要构成结构有:

1.    Grid (栅极) 模組

2.    Out shell (外壳) 模組

3.    CathodeCathode moudlemoudle (阴极模组)

4.    Anode with Magnet assembly (阳极与磁力模组)

 

伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 技术参数:

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离子源型号

portant;">

离子源 KDC 10

portant;">

离子源 KDC 40

portant;">

离子源 KDC 75

portant;">

离子源 KDC 100

portant;">

离子源 KDC 160

portant;">

Discharge

portant;">

DC 热离子

portant;">

DC 热离子

portant;">

DC 热离子

portant;">

DC 热离子

portant;">

DC 热离子

portant;">

离子束流

portant;">

>10 mA

portant;">

>100 mA

portant;">

>250 mA

portant;">

>400 mA

portant;">

>650 mA

portant;">

离子动能

portant;">

100-1200 V

portant;">

100-1200 V

portant;">

100-1200 V

portant;">

100-1200 V

portant;">

100-1200 V

portant;">

栅极直径

portant;">

1 cm Φ

portant;">

4 cm Φ

portant;">

7.5 cm Φ

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12 cm Φ

portant;">

16 cm Φ

portant;">

离子束

portant;">

聚焦, 平行, 散射

portant;">

流量

portant;">

1-5 sccm

portant;">

2-10 sccm

portant;">

2-15 sccm

portant;">

2-20 sccm

portant;">

2-30 sccm

portant;">

通气

portant;">

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

portant;">

典型压力

portant;">

< 0.5m Torr

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< 0.5m Torr

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

长度

portant;">

11.5 cm

portant;">

17.1 cm

portant;">

20.1 cm

portant;">

23.5 cm

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