KRI离子源辅助镀膜IAD时,霍尔离子源和考夫曼离子源哪个好
2021-02-02 07:16:32 伯东企业(上海)有限公司 发布1. 填充密度提高:折射率提高
2. 波长漂移减少
3. 红外波段的水气吸收减少
4. 增强了膜层的结合力、耐摩擦能力, 机械强度, 提高表面光洁度
5. 控制膜层的应力
6. 减少膜层的吸收和散射
7. 提高生产效率
离子源工作原理
在真空环境下, 利用发射的电子在电场合磁场的相互作用下, 使充入真空室的气体产生离化, 在电场合磁场的作用下发射离子.
上海伯东代理美国考夫曼公司霍尔离子源、考夫曼离子源和射频离子源, 选择哪类型离子源, 用于辅助镀膜 IAD呢?今天就跟大家简单介绍这三种离子源.
霍尔离子源
霍尔离子源属于高浓度低动能型, 其主要构成结构有:
1. 灯丝
2. 阳极模組
3. 主要模組
4. 底座(可调整角度, 高度)
实图如下:
KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列在售型号及技术参数:
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离子源型号 |
portant;">
霍尔离子源 eH200(停产) |
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霍尔离子源
eH400 |
portant;">
霍尔离子源
eH1000 |
portant;">
霍尔离子源 eH1000xO2 |
portant;">
霍尔离子源
eH2000 |
portant;">
霍尔离子源
eH3000 |
portant;">
Cathode/Neutralizer |
portant;">
F or HC |
portant;">
F or HC |
portant;">
F or HC |
portant;">
F or HC |
portant;">
F or HC |
portant;">
HC |
portant;">
电压 |
portant;">
30-300V |
portant;">
50-300V |
portant;">
50-300V |
portant;">
100-300V |
portant;">
50-300V |
portant;">
50-250V |
portant;">
电流 |
portant;">
2A |
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5A |
portant;">
10A |
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10A |
portant;">
10A |
portant;">
20A |
portant;">
散射角度 |
portant;">
>45 |
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>45 |
portant;">
>45 |
portant;">
>45 |
portant;">
>45 |
portant;">
>45 |
portant;">
可充其他 |
portant;">
Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others |
|||||
portant;">
气体流量 |
portant;">
1-15sccm |
portant;">
2-25sccm |
portant;">
2-50sccm |
portant;">
2-50sccm |
portant;">
2-75sccm |
portant;">
5-100sccm |
portant;">
高度 |
portant;">
2.0“ |
portant;">
3.0“ |
portant;">
4.0“ |
portant;">
4.0“ |
portant;">
4.0“ |
portant;">
6.0“ |
portant;">
直径 |
portant;">
2.5“ |
portant;">
3.7“ |
portant;">
5.7“ |
portant;">
5.7“ |
portant;">
5.7“ |
portant;">
9.7“ |
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水冷 |
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无 |
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可选 |
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可选 |
portant;">
可选 |
portant;">
是 |
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可选 |
考夫曼离子源 KDC
考夫曼离子源 KDC属于高浓度低动能型, 其主要构成结构有:
1. Grid (栅极) 模組
2. Out shell (外壳) 模組
3. CathodeCathode moudlemoudle (阴极模组)
4. Anode with Magnet assembly (阳极与磁力模组)
伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 技术参数:
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离子源型号 |
portant;">
离子源 KDC 10 |
portant;">
离子源 KDC 40 |
portant;">
离子源 KDC 75 |
portant;">
离子源 KDC 100 |
portant;">
离子源 KDC 160 |
portant;">
Discharge |
portant;">
DC 热离子 |
portant;">
DC 热离子 |
portant;">
DC 热离子 |
portant;">
DC 热离子 |
portant;">
DC 热离子 |
portant;">
离子束流 |
portant;">
>10 mA |
portant;">
>100 mA |
portant;">
>250 mA |
portant;">
>400 mA |
portant;">
>650 mA |
portant;">
离子动能 |
portant;">
100-1200 V |
portant;">
100-1200 V |
portant;">
100-1200 V |
portant;">
100-1200 V |
portant;">
100-1200 V |
portant;">
栅极直径 |
portant;">
1 cm Φ |
portant;">
4 cm Φ |
portant;">
7.5 cm Φ |
portant;">
12 cm Φ |
portant;">
16 cm Φ |
portant;">
离子束 |
portant;">
聚焦, 平行, 散射 |
||||
portant;">
流量 |
portant;">
1-5 sccm |
portant;">
2-10 sccm |
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2-15 sccm |
portant;">
2-20 sccm |
portant;">
2-30 sccm |
portant;">
通气 |
portant;">
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
||||
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典型压力 |
portant;">
< 0.5m Torr |
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< 0.5m Torr |
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< 0.5m Torr |
portant;">
< 0.5m Torr |
portant;">
< 0.5m Torr |
portant;">
长度 |
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11.5 cm |
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17.1 cm |
portant;">
20.1 cm |
portant;">
23.5 cm
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