伯东 KRI 考夫曼射频离子源在 PCB 钻头铣刀上的应用
2021-02-02 07:23:42 伯东企业(上海)有限公司 发布
该制造商的真空离子镀膜技术, 利用 KRI 考夫曼聚焦型射频离子源 RFICP 380 轰击靶材形成离子, 并使离子在强磁场的驱动下吸附于钻头或锣刀上形成镀层, 制备出镀膜钻头及镀膜铣刀.
用于溅射的 KRI 聚焦型射频离子源 RFICP 380 技术参数:
portant;">
射频离子源型号 |
portant;">
RFICP 380 |
portant;">
Discharge 阳极 |
portant;">
射频 RFICP |
portant;">
离子束流 |
portant;">
>1500 mA |
portant;">
离子动能 |
portant;">
100-1200 V |
portant;">
栅极直径 |
portant;">
30 cm Φ |
portant;">
离子束 |
portant;">
聚焦 |
portant;">
流量 |
portant;">
15-50 sccm |
portant;">
通气 |
portant;">
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
portant;">
典型压力 |
portant;">
< 0.5m Torr |
portant;">
长度 |
portant;">
39 cm |
portant;">
直径 |
portant;">
59 cm |
portant;">
中和器 |
portant;">
LFN 2000 |
推荐理由:
聚焦型溅射离子源一方面可以增加束流密度, 提高溅射率; 另一方面减小离子束的散射面积, 减少散射的离子溅射在靶材以外的地方引起污染
运行结果:
- 结果表面, 采用镀膜钻头, 可以明显增加钻孔孔限, 减少披锋, 节约成本;
- 采用镀膜铣刀进行铣边及成型加工时, 有利于减少产品的披锋、毛刺及铣刀断刀, 提高生产效率及节约成本
伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.
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