伯东 KRI 考夫曼射频离子源用于纯钛表面氨基化改性的研究
2021-02-02 07:24:31 伯东企业(上海)有限公司 发布
试验样品: 8mm X 8mm的厚度 1 mmde TA2型纯钛线
试验流量简介: 通过对试验样品进行刻蚀时间长短不同形成不同的清洁表面, 然后通过仪器分析其亲水性
用于刻蚀的 KRI 考夫曼聚焦型射频离子源 RFICP 380 技术参数:
射频离子源型号 |
RFICP 380 |
Discharge 阳极 |
射频 RFICP |
离子束流 |
>1500 mA |
离子动能 |
100-1200 V |
栅极直径 |
30 cm Φ |
离子束 |
聚焦 |
流量 |
15-50 sccm |
通气 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型压力 |
< 0.5m Torr |
长度 |
39 cm |
直径 |
59 cm |
中和器 |
LFN 2000 |
推荐理由:
使用 KRI 考夫曼聚焦型射频离子源 RFICP 380 可以准确、灵活地对样品选定的区域进行刻蚀
试验结论:
N2和 NH3 的混合气体射频离子源处理纯钛表面, 可以在表面引入氨基, 但处理时间并不是越长越好, 改性后的钛片表面的亲水性得到较大的提高, 但随放置时间的增加其表面亲水性会变差, 在5h内, 改性钛片保存在氮气气氛中有利于保持其亲水性.
伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.
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