伯东KRI无栅霍尔离子源eH 3000辅助镀制高质量光学薄膜-益择网-专业的仪器网上选购商城

某大型工业薄膜制造商采用伯东 KRI 无栅霍尔离子源 eH 3000 辅助热蒸发技术镀制高质量光学薄膜, 以获得良好的机械性能和光学特性的薄膜, 同时获得与基体牢固结合和优良性能的高质量薄膜.

其工作系统如下图：

KRI 霍尔离子源 Gridless eH 3000最适合大型真空系统, 与友厂大功率离子源对比, eH 3000 是目前市场上最高效, 提供最高离子束流的离子源.

KRI 霍尔离子源 Gridless eH 3000 技术参数:

portant;"> 离子源型号	portant;"> 霍尔离子源 eH3000 eH3000LO eH3000MO
portant;"> Cathode/Neutralizer	portant;"> HC
portant;"> 电压	portant;"> 50-250V 50-300V 50-250V
portant;"> 电流	portant;"> 20A 10A 15A
portant;"> 散射角度	portant;"> >45
portant;"> 可充气体	portant;"> Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others
portant;"> 气体流量	portant;"> 5-100sccm
portant;"> 高度	portant;"> 6.0“
portant;"> 直径	portant;"> 9.7“
portant;"> 水冷	portant;"> 可选

F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current

该制造商的离子源辅助镀膜系统由霍尔离子源, 电源及控制系统和质量流量计 3 部分组成, 如下图：

其中霍尔离子源发射离子, 质量流量计向离子源提供气体并保证气流稳定, 电源及控制系统向离子源供电并保证放电参数放电电压及电流稳定.

KRI 霍尔离子源 Gridless eH 3000 运行结果：

1. 适用工业规模生产

2. 获得良好的机械性能和光学特性的薄膜

3. 获得与基体牢固结合和优良性能的高质量薄膜

伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:

上海伯东: 罗先生                               台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                   ec@hakuto.com.tw
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