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伯东KRI考夫曼射频离子源RFICP140辅助镀制OSR膜层

2021-02-02 07:33:00  伯东企业(上海)有限公司  发布
  某光学薄膜制造商为了提高光学太阳反射镜OSR的膜层附着力, 采用伯东 KRI 考夫曼射频离子源 RFICP140 在镀膜前清洗光学太阳反射镜OSR.

 

伯东 KRI考夫曼射频离子源 RFICP140 技术参数:

portant;">

型号

portant;">

RFICP 140

portant;">

Discharge

portant;">

RFICP 射频

portant;">

离子束流

portant;">

>600 mA

portant;">

离子动能

portant;">

100-1200 V

portant;">

栅极直径

portant;">

14 cm Φ

portant;">

离子束

portant;">

聚焦, 平行, 散射

portant;">

流量

portant;">

5-30 sccm

portant;">

通气

portant;">

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

portant;">

典型压力

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

长度

portant;">

24.6 cm

portant;">

直径

portant;">

24.6 cm

portant;">

中和器

portant;">

LFN 2000

 

推荐使用 KRI考夫曼射频离子源 RFICP140是因为其束流密度、能量可以精确控制, 工艺刚好符合客户要求.

 

其工艺流程为:

在原有的真空镀膜机上安装一台KRI考夫曼射频离子源 RFICP140, 产生离子束. 离子束清洗应用在镀膜沉积前, 利用离子束轰击基片, 溅射基片表面的污染物进行净化, 同时也对基片表面除气.

 

先将清洗干净的石英玻璃基片放入真空室,再将系统的真空度抽至低于 5·10-4Pa, 然后充入工作气体氩气保持 5min 后, 打开离子源进行清洗. 清洗完毕后再次将系统的真空度抽至低于 5·10-4Pa,充入氩气至 0.3Pa 进行溅射镀银.

 

为了保证真空室的真空度, 客户采用的是伯东Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace1800, 其参数如下:

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分子泵型号

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界面 DN

portant;">

抽速 l/s

portant;">

压缩比

portant;">

最高启动压强mbar

portant;">

极限压力

portant;">

全转速气体流量hPa l/s

portant;">

启动
时间

portant;">

重量

portant;">

进气

portant;">

排气

portant;">

氮气
N2

portant;">

氦气He

portant;">

氢气 H2

portant;">

氮气
N2

portant;">

氮气N2

portant;">

 hPa

portant;">

氮气N2

portant;">

min

portant;">

kg

portant;">

Hipace 1800

portant;">

200

portant;">

40

portant;">

1,450

portant;">

1,650

portant;">

1,700

portant;">

> 1X108

portant;">

1.8

portant;">

< 1X10–7

portant;">

20

portant;">

4

portant;">

33 – 34

 

运行结果:

KRI考夫曼射频离子源 RFICP140可以对基片表面进行有效的清洁、活化的, 有利于改善膜层附着力

 

 

伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:

上海伯东: 罗先生                               台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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