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考夫曼射频离子源RFICP140 溅射制备 MnGe 量子点

2021-02-02 08:01:59  伯东企业(上海)有限公司  发布
  云南某大学实验室采用伯东 KRI 考夫曼射频离子源 RFICP140离子束溅射制备尺寸均匀、高密度的 MnGe 量子点MnGe 量子点属于半导体量子材料的领域.

 

伯东 KRI考夫曼射频离子源 RFICP140 技术参数:

portant;">

型号

portant;">

RFICP 140

portant;">

Discharge

portant;">

RFICP 射频

portant;">

离子束流

portant;">

>600 mA

portant;">

离子动能

portant;">

100-1200 V

portant;">

栅极直径

portant;">

14 cm Φ

portant;">

离子束

portant;">

聚焦平行散射

portant;">

流量

portant;">

5-30 sccm

portant;">

通气

portant;">

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

portant;">

典型压力

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

长度

portant;">

24.6 cm

portant;">

直径

portant;">

24.6 cm

portant;">

中和器

portant;">

LFN 2000

 

运行结果:

KRI考夫曼射频离子源 RFICP140 可控性强制备工艺简单具有较强的商业价值.

 

伯东是德国 Pfeiffer 真空泵检漏仪质谱仪真空计美国 KRI 考夫曼离子源美国HVA 真空阀门美国 inTEST 高低温冲击测试机美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.

 

若您需要进一步的了解详细信息或讨论请参考以下联络方式:

上海伯东罗先生                               台湾伯东王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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