考夫曼射频离子源RFICP140 溅射制备 MnGe 量子点
2021-02-02 08:01:59 伯东企业(上海)有限公司 发布
伯东 KRI考夫曼射频离子源 RFICP140 技术参数:
portant;">
型号 |
portant;">
RFICP 140 |
portant;">
Discharge |
portant;">
RFICP 射频 |
portant;">
离子束流 |
portant;">
>600 mA |
portant;">
离子动能 |
portant;">
100-1200 V |
portant;">
栅极直径 |
portant;">
14 cm Φ |
portant;">
离子束 |
portant;">
聚焦, 平行, 散射 |
portant;">
流量 |
portant;">
5-30 sccm |
portant;">
通气 |
portant;">
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
portant;">
典型压力 |
portant;">
< 0.5m Torr |
portant;">
长度 |
portant;">
24.6 cm |
portant;">
直径 |
portant;">
24.6 cm |
portant;">
中和器 |
portant;">
LFN 2000 |
运行结果:
KRI考夫曼射频离子源 RFICP140 可控性强, 制备工艺简单, 具有较强的商业价值.
伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.
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