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考夫曼射频离子源RFCIP220 制备高性能光通信带通滤光膜

2021-02-02 08:02:33  伯东企业(上海)有限公司  发布
  光通信的信息载体是光波为了进一步提高光通信系统中光信号的传输质量满足光通信系统的使用要求广东中山某研究机构采用 KRI 考夫曼射频离子源 RFCIP220 制备高性能光通信带通滤光膜.

 

伯东 KRI 射频离子源 RFICP220 技术参数:

portant;">

离子源型号

portant;">

RFICP220

portant;">

Discharge

portant;">

RFICP 射频

portant;">

离子束流

portant;">

>800 mA

portant;">

离子动能

portant;">

100-1200 V

portant;">

栅极直径

portant;">

20 cm Φ

portant;">

离子束

portant;">

聚焦,  平行,  散射

portant;">

流量

portant;">

10-40 sccm

portant;">

通气

portant;">

Ar,  Kr,  Xe,  O2,  N2,  H2,  其他

portant;">

典型压力

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

长度

portant;">

30 cm

portant;">

直径

portant;">

41 cm

portant;">

中和器

portant;">

LFN 2000

可选灯丝中和器可变长度的增量

KRI 射频离子源 RFICP 220

 

在该研究项目中 Ta2O5  SiO2 作为镀膜材料设计了含有 12 个谐振腔的带通滤光膜分析并解决了耦合层膜厚监控的问题.

 

运行结果:

制备的带通滤光膜在 15281571 nm 处插入损耗小于 0.2 dB, 14701521 nm  15781651 nm 处透射隔离度大于 40 dB, 满足实际使用要求.

 

伯东是德国 Pfeiffer 真空泵,  检漏仪,  质谱仪,  真空计,  美国 KRI 考夫曼离子源,  美国HVA 真空阀门,  美国 inTEST 高低温冲击测试机,  美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.

 

若您需要进一步的了解详细信息或讨论,  请参考以下联络方式:

上海伯东罗先生                               台湾伯东王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

伯东版权所有,  翻拷必究!


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