考夫曼射频离子源RFCIP220 制备高性能光通信带通滤光膜
2021-02-02 08:02:33 伯东企业(上海)有限公司 发布
伯东 KRI 射频离子源 RFICP220 技术参数:
portant;">
离子源型号 |
portant;">
RFICP220 |
portant;">
Discharge |
portant;">
RFICP 射频 |
portant;">
离子束流 |
portant;">
>800 mA |
portant;">
离子动能 |
portant;">
100-1200 V |
portant;">
栅极直径 |
portant;">
20 cm Φ |
portant;">
离子束 |
portant;">
聚焦, 平行, 散射 |
portant;">
流量 |
portant;">
10-40 sccm |
portant;">
通气 |
portant;">
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
portant;">
典型压力 |
portant;">
< 0.5m Torr |
portant;">
长度 |
portant;">
30 cm |
portant;">
直径 |
portant;">
41 cm |
portant;">
中和器 |
portant;">
LFN 2000 |
* 可选: 灯丝中和器; 可变长度的增量
在该研究项目中, 以 Ta2O5 和 SiO2 作为镀膜材料, 设计了含有 12 个谐振腔的带通滤光膜, 分析并解决了耦合层膜厚监控的问题.
运行结果:
制备的带通滤光膜在 1528~1571 nm 处插入损耗小于 0.2 dB, 1470~1521 nm 和 1578~1651 nm 处透射隔离度大于 40 dB, 满足实际使用要求.
伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.
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