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水溶液中电化学沉积GaSb 相变存储薄膜

2014-08-22 09:48:37    益择发布
    利用恒电位共沉积技术和热处理的方法成功制备了GaSb 薄膜,探索了添加乙二醇溶剂对薄膜结晶性和形貌的影响。采用循环伏安法初步研究了共沉积GaSb 的机理,并用X- 射线衍射技术(XRD)、扫描电子显微技术(SEM)、和能谱分析(EDS)表征、观察样品。研究表明,在沉积过程中,SbO+ 先还原成Sb 单质,再诱导Ga3+ 发生共沉积曰沉积电位对薄膜的结晶性尧微观形貌和成分有显著影响,电解液加入乙二醇更利于在较高的正电位下直接沉积出GaSb,且有效地提高了薄膜的结晶度,改善了薄膜的微观形貌。
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