带能谱分析的扫描电子显微镜在材料分析中的应用
2013-02-28 11:39:41 益择发布王英姿侯宪钦
(济南大学材料科学与工程学院,山东济南250022)
摘要:简要分析了扫描电子显微镜和X射线能量色散谱分析的原理及特点。概述了带能谱分析的扫描电
子显微镜的独特优点。然后借助扫描电镜的能谱分析。以难切削加工材料钛合金(TC4)的切削刀具
磨损形貌和探求刀具材料成分组分为例,说明了带能谱分析的扫描电镜在定点成分分析、线扫描和
面扫描方面的应用。最后总结了这种显微镜的应用范围。
关键词:扫描电镜能谱分析钛合金刀具材料
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