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扫描电子显微镜在半导体工艺中的应用技术研究
2013-02-28 11:46:46 益择发布王嵩宇，徐 宁，袁 凯，苏秀娣，许仲德，李 宏，林厚军
(东北微电子研究所，沈阳110032)
摘 要 针对半导体工艺的需要，本文提供了利用扫描电子显微镜进行分析的机理及采用的
关键技术手段。
关键词扫描电子显微镜；解理；缀饰
中图分类号：TN3 文献标识码：B 文章编号；1002-2279(2004)03-0010-02
The Applied Technique Study of Scanning Electric Microscope During
Semi—conductor P rocess
W ANG Song- yu，XU Ning，YUAN Kai，et al
(Northeast Microelectronics Institute，Shenyang 110032，China)
Abstract Aim at the demand of the semi—conductor technics，this text provided the principle make use
of the electronic microscope to proceed the analysis and key technique of using．
Keywords SEM ；Cleavage；Decoration
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