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氦质谱检漏仪与氟油平台在元器件检漏中的应用
2013-03-11 10:37:31 益择发布? 一
1 氦质谱检漏仪
中国科学院北京科学仪器研制中 竺兰堡
氰质谱
氦质谱检漏仪是对密封器件的泄漏进行快速
定位和定量测量的仪器 泄漏现象有极大的潜在危
险，电工电子产品发生泄漏，其性能降低或报废；锅
炉漏水或漏气会出现事故⋯⋯ ，总之，检漏技术已
广泛地应用于很多领域，在国民经济中占有非常重
要的地位
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，使用氨气做
为探索气体而制成的气密性检测仪器。其工作原理
如 1所示。灯丝发射出来的电子经加速进人电离
室，在电离室内与从被检件漏孔进入电离室的探索
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